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螺杆泵是利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触的左螺杆与右螺杆作高速转动，利用泵壳和相互啮合的螺旋将螺旋槽分隔成多个空间、形成多个级，气体在相等的各个槽内（柱形等螺距）进行传输运动，但无压缩，只有螺杆末端的螺旋结构对气体有压缩作用。螺杆的各级间可形成压力梯度，以分散压差和提高压缩比。各部间隙和泵转速对泵的性能有很大影响。在设计螺杆各部的间隙时，要考虑膨胀、加工及装配精度和工作环境（如抽除含粉尘气体等）。ulvac真空泵维修

真空常见故障、产生原因

1 .油量不足.油脏或乳化.泵油牌号不符或混油，夏季使用黏度过小的油 .漏气.配合间隙过大( 或有磨损和划痕) .油路不通，泵腔内没有保持适当的油量

2.泵运转中温升太高，使泵油浓度变稀，密封性变差，油蒸气压增大 .泵中隔板压入时过盈量过大，使泵腔鼓起变形，漏气.排气阀片损坏密封不好 .装配不当，端盖板螺钉松紧不一，转子轴心位移 .旋片活动不好 .被抽气体温度过高。ulvac真空泵维修

3 .进气管内的过滤网被堵 .气镇阀垫圈损坏或没拧紧 加油到油标中心换油检查轴封、排气阀、端盖、进气口等部位的密封情况，并修换密封圈检查泵腔、转子、旋片、端盖板之间的配合间隙，清除杂物、杂质，按精度要求修磨调节油路的进油量， 清洗时用高压空气吹通油孔，把沉积物清洗干净通冷却水降温， 检查配合间隙按精度要求进行修理修整泵腔或换泵、报废修换阀片重新装配修磨转子和旋片的配合，调换弹簧热气体被抽入泵之前加冷却装置取出进气口过滤网清洗干净烘干后再装好换垫圈，拧紧气镇阀电动机超负荷运转，甚至转不动，ULVAC爱发科分子泵维修服务， 发生“ 卡死”现象 。

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旋片真空泵的清洗

为了清洁旋片真空泵而没有明显的故障，泵一般不拆卸，只有旧油和污垢从排油孔排出，新的真空泵油（用于清洗）从带漏斗的进气口。手动缓慢旋转泵轮数次后，释放油。通过重复相同的方法一次或两次，新油可以正式使用。近几年来也有不少干式前级泵出现，使涡轮分子泵系统不存在油蒸汽返流，使它真正成为一种清洁的干式高真空泵气体输送能力强大多数涡轮分子泵对于输送轻气体（如氢、氦）的能力很强。没有必要清洁新的旋片真空泵，但有必要检查管道入口是否干净，没有异物，并擦去表面腻子。

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机械安装

⑴真空泵应安装在地面结实坚固的场所，周围应留有充分的余地，便于检查、维护、保养。

⑵真空泵底座下应保持地基水平，底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装，确保真空泵运转平稳，振动小。

⑶真空泵与系统的连接管道应密封可靠，对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶，对小真空泵可采用真空胶管连接，管道管径不得小于真空泵吸气口径，且要求管路短而少弯头。（焊接管路时应清除管道中焊渣，严禁焊渣进入真空泵腔。）

⑷在连接管路中，用户可在真空泵进气口上方安装阀门及真空计，随时可检查真空泵的极限压力。

⑸按电动机标牌规定连接电源，并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。

⑹真空泵通电试运转时，须取下电机皮带，确认真空泵转向符合规定方向方可投入使用，以防真空泵反转喷油。（转向按防护罩指示方向）

⑺对于有冷却水的真空泵，按规定接通冷却水。

⑻如真空泵口安装电磁阀时，阀与真空泵应同时动作。

⑼当真空泵排出气体影响工作环境时，可在排气口装接管道引离或装接油雾过滤器。

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真空泵油是:一种专门为真空设备上的真空泵而研制的润滑油，分矿物油和合成油两种。如吸入化学气体及溶剂，对泵油污染影响真空后，则必须作清洗换油处理。真空泵油适用于往复式增压泵、机械增压泵和油封机械真空泵等使用，亦可用于各种扩散真空泵等。

工业上有各种各样的真空泵，对于各种泵的性能都有规定的测试方法来检验，主要参数有：

1、极限真空(通常称为真空度)：将真空泵与检测容器相连，放入待测的气体后，进行长时间连续抽气，当容器内的气体压力不再下降而维持某一定值时，爱发科真空泵维修，此压力称为泵的极限真空。该值越小则表明越接近理论真空。

普通真空表测得的真空值(即：表压)为相对真空度，用负数表示，是指被测气体压力与大气压的差值。复合分子泵厂家

2、抽气速率：在真空泵的吸气口处，爱发科真空泵维修，单位时间内流过的气体体积。

传统工业用真空泵体积普遍很大，而且泵的工作需要特殊的真空泵油和润滑机油，介质气体内会含有大量油雾。

分子泵产生振动的原因与减振措施

泵工作时振动的产生及其减振措施保证分子泵工作精度的Z主要问题是尽量减少泵工作时的振动。组成分子泵的零部件以及安放它的基础，都可以认为是一个弹性系统。当分子泵高速运转工作时，泵在其平衡位置作往复性机械运动，即是分子泵的振动。

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