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在湿法清洗工艺路线下,目前主流的清洗设备主要包括单片清洗设备、槽式清洗设备、组合式清洗设备和批式旋转喷淋清洗设备等,其中单片清洗设备市场份额占比高。湿法清洗工艺路线下主流的清洗设备存在程度的区分,主要体现在可清洗颗粒大小、金属污染、腐蚀均一性以及干燥技术等标准。目前至纯科技主要生产湿法清洗设备,提供槽式设备(槽数量按需配置)及单片机设备(8-12 反应腔),均可以覆盖 8-12 寸晶圆制造的湿法工艺设备。


网板清洗机有三项清洗工艺,分别是清洗溶液的清洗、超声波的漂洗、风切的除水项溶剂清洗的工艺是应用事前在钢网清洗机内部装配好的夹板夹住钢网,并自动化控制,半导体氧化设备厂家,使网板往复慢拉,保证每一个位置都能被喷淋到位,清洗溶剂在超声波的作用下产生上万的空化气泡。

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