科仪创新真空-吉林层流式质量流量计-层流式质量流量计原理





质量流量计产品特点

产品特点,本产品集成触摸显示屏,可以通过显示屏选择待控制气体的种类、压力控制值的大流量体积、精度等,吉林层流式质量流量计,操作方便,实时显示当前流量信息。本产品在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合是:电子工艺设备,层流式质量流量计原理,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。




质量流量计概述

质量流量计是一种用于测量流体质量的仪表,层流式质量流量计公司,相较于传统的体积流量计具有更高的精度和稳定性。它基于热传导或科里奥利力等原理来工作:在管道中安装一个传感器阵列或多个检测点;当流体流经这些点时会产生相应的电信号变化或者机械振动效应;通过处理和分析这些信号可以准确地计算出流过传感器的质量值以及流速、密度等相关参数信息从而得到准确的测量结果且不受温度压力等因素的影响。



质量流量计使用方法

用户通过气管和接头将气源和本设备的气体进口连接。气源的压力必须在规定的范围内(0.1~1MPa),用同样的方法连接设备出口和用气部位。然后接通电源,在显示屏选择气体的种类,层流式质量流量计厂家,设置流量和气体总量,设置完成后设备自己校准并执行设定值开始工作。相关数值可以通过显示屏查看,或者通过数据线以 4-20mA或者 RS485 协议与控制终端连接上传数据。可以使用随机配送的数据线连接査看的相关信息。(客户需要在订货时确认需要的信号输出接口类型)




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