江苏气体管道安装-苏州珂锐弘扬流体-实验室气体管道安装





减压器的使用要点

(1) 使用前应确认减压器是完好的,并检查有无油脂污染,特别是进口处的污物及灰尘等应及时清除。

(2) 检查气瓶是否有油脂污染,螺纹是否损坏,实验室气体管道安装,如发现有油脂或螺纹损坏,就不再使用该气瓶,并将这些情况通知供气单位,清除气瓶阀(特别是阀口处)的油脂污染,修复螺纹。

(3) 把减压器装到气瓶阀上,将输入输出接头拧紧。

(4) 打开气瓶阀前,先要把减压器调节螺杆逆时针方向旋到调节弹簧不受压力为止。

(5) 打开气瓶阀前,先不要站在减压器的正面或背面。气瓶阀应缓慢开启至高压表指示出气瓶内压力。

(6) 顺时针方向旋转减压器调节螺杆使低压表达到所需的工作压力。如果太高应旋松调节螺杆,放出一部分气后重新调节。

(7) 当工作结束后,先关闭气瓶阀,然后打开设备上的阀把减压器内的气体全部排出。接着把刚才打开的阀门关好,逆时针方向旋转调节螺杆,一直到调节弹簧不受压为止。

(8) 减压器应妥善保存避免撞击振动,不要放在露天和有腐蚀性介质的地方。

(9) 减压器只能使用规定的气体。








高纯气体管道配管

所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU),为了达到工艺对气体的质量要求,在气体出口指标一定的情况下,则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外,在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响,因此,气体管道安装生产商,管材的选取应恪守相关行业原则,并在图纸中注明管道材质。

管路的材质则依使用的需求进行选择,若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管,经电解拋光(Electro-Polish)处理,耐腐蚀,表面粗糙度低,Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下,气体管道安装公司,其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm,因平整度越高越不容易形成微涡流,而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体,如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低,其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking),则用于不做为供气管路的双套外管。








集中供气系统的特点

1、特点:实验室要求使用载气流量恒定、气体纯度高,为实验室选用的分析设备提供量值和压力稳定的气体。

2、经济性:建一个集中的气瓶间可以节省有限的实验室空间,更换钢瓶时不需要切断气体,江苏气体管道安装,保证气体的连续供应。使用者只需管理较少的钢瓶,支付较少的钢瓶租金,因为使用同一气体的所有使用点来自于同一个气源。此种供应方式会减少运输费用,减少退还给气体公司的空瓶中的余气量,以及良好的钢瓶管理。

3、使用率:集中管道供应系统可以将气体出口放置在使用点处,这样的话可以更合理的设计工作场所。

4、安全性:保证其储存和使用的安全性。保障分析测试人员在实验中免受有毒有害气体的侵害。








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