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金属部件通常会表现出被油和油脂污染的痕迹。如果这些不能通过抽空容器轻松去除，则必须使用适当的有*溶剂（变性酒精在所有情况下都不适合）进行清洁。使用工业中常见的蒸汽浴可以实现*大的清洁度。实现极低的压力范围（< 10 -7mbar)金属部件在清洁后必须在高达 200°C 的温度下烘烤。分子泵控制器
严重污染的金属部件首先必须通过切割或喷砂顶部表面进行清洁。分子泵控制器，这些方法有这样的风险，即被处理的表面积会通过粗糙化而增加，并且可能会形成容易吸附蒸气分子的活性中心。建议在蒸汽浴中进行补充清洁。在某些情况下，瓦里安分子泵维修服务商，表面的电解酸洗可能是有益的。在高真空元件的情况下，必须保证酸洗不会变成蚀刻，这会严重增加表面积。在粗真空和中等真空范围内工作时，无需抛光已喷砂的表面，分子泵控制器
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现在市场上提供的干式泵种类很多。就其基本原理来分，只有两类，即：
① 容积式的干式真空泵， 例如多级罗茨泵、爪型泵、往复式活塞泵、螺杆式泵和涡旋式泵等。这种干式泵的极限压力一般为0.1～10Pa， 抽速为0.01～0.04m3/s。
② 动量传输式的无油真空泵，如涡轮式无油泵。排气侧与大气相接，在连续流状态下压缩比较高。它是一种粗抽泵，可从大气压抽到1022Pa。在结构上采用径向流和周向流泵的复合式结构，多级串联抽气。这种涡轮式泵的极限压力约为10-2Pa， 抽速为0.02～0.15m3/s。牵引型干式泵也属于动量传输式的干式泵。
氦质谱检漏仪检测开始时出现的故障
1、检漏键无效(绿色指示灯亮)
检查灯丝是否启动。如果灯丝没有启动或者灯丝断，按检漏键将没有反应。
2、检漏键无效(指示灯不亮)
I/O短接插头未插入氦质谱检漏仪故障后面插座。如果I/O短接插头未插入仪器后面插座，这时氦质谱检漏仪将接受I/O口输入信号，而不接受遥控器信号，检漏键无效。
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轴承
主轴轴承对泵的使用寿命至关重要。逐渐磨损可能使轴的位置发生轻微的变化，直到螺钉或转子之间，或叶轮和泵壳之间发生摩擦。这将导致光斑发热，可以通过触摸检测到。轴承突然失效通常更为严重。由于叶轮轴组件不再有支撑和正确的位置，在轴承失效后，很可能立即发生对壳体和齿轮的广泛的一般损坏。磨损的迹象是过度或异常的噪音，过热的轴承，或过热的套管由旋转叶轮与套管内部接触引起的摩擦。瓦里安分子泵电源维修
二、更换油和密封件
分子泵的油和密封件也是保养的重要部分。油的质量和密封件的状态会直接影响分子泵的性能和寿命。因此，定期更换油和密封件是非常必要的。瓦里安分子泵电源维修
更换油时，需要先将泵内的油排出，然后用清洁剂和软布擦拭泵内壁和叶轮。然后再加入新的油，确保油面高度正常。更换密封件时，需要先将泵内的油排出，然后拆下密封件，清洗并更换新的密封件。注意更换密封件时，需要按照厂家的要求进行操作，以免影响泵的性能和寿命。瓦里安分子泵电源维修
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