体积流量的表示方法

对多数用户而言，体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用，气体流量控制模块，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量（如g/min），这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数， 可以方便地查到，因而简单地做一个乘法（以密度乘以若干slm）即可实现。所以说，在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。

需要注意的是， 被全世界质量流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种质量流量单位， 不符合国内计量标准的常用的质量流量的国际单位（Kg/min）， 但是它符合国际半导体协会制定的SEMI。

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质量流量计 / 质量流量控制器的主要优点是什么？

(1)  流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。

对于多数流量测控系统而言，很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计，压力及温度的波动将导致较大的误差；对于质量流量计 / 质量流量控制器，则一般可以忽略不计。

(2)  测量控制的自动化

质量流量计 / 质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。对质量流量控制器而言，气体流量控制模块价格，还可以实现流量的自动控制。通常， 模拟的MFC/MFM输入输出信号为0~+5V或4~20mA，气体流量控制模块厂家， 数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口， 能非常方便地与计算机连接， 进行自动控制。

(3)  定量控制流量

质量流量控制器可以控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。

(4)  适用范围宽

有很宽的工作压力范围，我们的产品可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介质（包括一些腐蚀性气体，如HCL）

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气体质量流量单位

气体质量流量单位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute，每分钟标准毫升）和slm（Standard Liter per Minute，每分钟标准升）来表示。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325Pa (760mm Hg); 温度—0℃ (273.15K)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之处。

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