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视频作者:凯德金(北京)科技发展有限公司






真空泵概述

z灰口铸铁是一阶段石墨化过程充分进行而得到的铸铁,全部或大部分碳以片状石墨形态存在,干式真空泵报价,断口呈灰暗色,因此得名,它包括一般灰口铸铁、孕育铸铁、稀土灰口铸铁等。灰铸铁有一定的强度,但塑性和韧性很低,干式真空泵,这种性能特点与石墨本身的性能 及其在铸铁组织中的存在形态有关。有良好的减震性,用灰铸铁制作水环真空泵机组上的底座或机架等零件时,能有效地吸收机器震动的能量;有良好的润滑性能、导热性能、铸造性能。其流动性能良好,线收缩率和体收缩率较小,铸件不易产生开裂,因此适宜于铸造结构复杂的铸件和薄壁铸件。



真空泵漏气主要原因

水环式真空泵前后侧盖不同心即前后侧盖有着较大的不同轴度,干式真空泵生产厂家,后果与轴承歪斜的相同。液环温度升高,饱和蒸汽压也随之升高,这样就会降低真空度,但这对排气压力是没有什么影响的。水环真空泵液环发热的原因比较多,有可能是输进液环的温度本来就高,也有可能是供给水或供给液水母不足,以致不能起到冷却的作用而使液环温度升高,还有可能由于它的叶轮和侧盖的摩擦发热促使液环温升,干式真空泵供应商,以及轴承发热或泵长期工作等因素所造成。



真空泵分子泵

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。



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