六氟化硫充气柜真空箱测漏系统





氦质谱检漏原理

氦质谱检漏技术是以无色、无味的惰性气体氦气为示踪介质、以磁质谱分析仪为检测仪器,用于检漏的一种检测技术,它的检漏灵敏度可达10-14~10-15Pa?m3/s,可以准确确定漏孔位置和漏率。氦质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统组件和电子学控制元件三大部分组成。质谱室接在分子泵的高真空端,入口接在分子泵和机械泵之间,利用分子泵对不同气体具有不同压缩比的特点,氦气逆着分子泵的抽气方向进入质谱室。检漏仪在质谱室中将气体电离,这些离子在加速电场的作用下进入磁场,在洛伦兹力作用下发生偏转,由于不同荷质比的离子具有不同的电磁学特性,偏转半径各不相同,在挡板的作用下,氦检漏仪的收集板只允许带正电的氦离子被接收到,单位时间到达收集板的氦离子对应于一个电流信号,这个电流信号正比于进入到达收集板氦离子的数量,电流信号经过放大后显示在质谱仪的显示面板上,其大小反映了泄漏点的漏率,通过泄漏率大小来确定该位置泄漏程度的大小。

氦质谱检漏仪的示踪气体选用氦气,是因为氦气具有以下优良特性:

①氦气在空气中的含量少,体积含量为5.24×10-6,六氟化硫充气柜真空箱测漏系统,如果氦气在环境中的含量超过标准,可以比较容易地探测到极微量的氦气;

②氦分子小、质量轻、易扩散、易穿越漏孔、易于检测也易于清除;

③氦离子荷质比小,易于进行质谱分析;

④氦气是惰性气体,化学性质稳定,不会腐蚀和损伤任何设备;

⑤氦气无毒,不凝结,极难容于水。

今天科仪小编和大家分享的是氦质谱检漏的工作原理,希望对您有所帮助!







氦质谱检漏仪的原理

氦质谱检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源,质量分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束,以一定能量注入质分析器,

目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。

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氦质谱检测仪的标准器选择

北京科仪真空技术有限公司生产氦质谱检漏仪,今天科仪的小编就大家来分享一下氦质谱检漏仪的标准器的选择,希望对大家有所帮助!

标准器 采 用 渗 氦 型 标 准 漏 孔,漏 率 标 称 值 在( 10 - 6 ~ 10 - 10 ) Pa·m3 /s,不确定度不大于 10% 。

精密玻璃温度计,测量范围(0 ~ 50) ℃ ,不确定度 U = 0. 04℃ ,k = 2。




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