首先,将待镀膜物体放置在真空室内。
接着,通过真空泵系统(通常包括机械泵和分子泵)排除真空室内的气体,以创造一个高真空环境。这种高真空环境有助于减少气体和杂质对镀膜过程的干扰,确保镀膜质量。
镀膜材料的准备:
根据需要制备的薄膜类型,选择相应的镀膜材料。常用的镀膜材料包括金属、氧化物、氮化物等。
这些材料通常以块状或颗粒状的形式放置在镀膜设备的固体样品舟中。
高真空环境:磁控溅射镀膜设备通常处于高真空环境中。这个高真空环境可以减少气体杂质对薄膜质量的影响,使得沉积在基底表面的薄膜更加纯净和致密。
充入气:在高真空的条件下充入适量的气。
施加电压:在阴极(柱状靶或平面靶)和阳极(镀膜室壁)之间施加几百K直流电压,在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电。
电子碰撞与电离:电子在电场E的作用下,在飞向基片过程中与原子发生碰撞,派瑞林真空镀膜设备哪里实惠,使气发生电离(在高压作用下Ar原子电离成为Ar+离子和电子)。
离子轰击靶材:入射离子(Ar+)在电场的作用下轰击靶材,使得靶材表面的中性原子或分子获得足够动能脱离靶材表面,沉积在基片表面形成薄膜。
二次电子运动:产生的二次电子会受到电场和磁场作用,派瑞林真空镀膜设备公司,产生E×B漂移,其运动轨迹近似于一条摆线。若为环形磁场,则电子就以近似摆线形式在靶表面做圆周运动,它们的运动路径不仅很长,而且被束缚在靠近靶表面的等离子体区域内,派瑞林真空镀膜设备厂家哪里近,并且在该区域中电离出大量的Ar+来轰击靶材。
如果湿度超过60%,派瑞林真空镀膜设备,则需要采取降湿措施。这包括使用除湿机、增加通风换气量、使用吸湿材料(如硅胶)等方法来降低室内湿度。
避免频繁的温度和湿度波动对镀膜过程产生不利影响。可以通过安装温度和湿度控制系统来自动调节室内环境,确保其在理想范围内保持稳定。
在镀膜过程中,注意防止灰尘和杂质的进入。保持操作环境的整洁,使用空气过滤器和干燥的环境来减少污染物的影响。
定期对镀膜设备进行维护和清洁,确保其处于良好的工作状态。
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