SU8模具加工平台旨在为SU8模具加工提供一个gao效、全mian的解决方案，该平台集成了桌面光刻机、匀胶机和热板等he心设备。桌面光刻机，体积小巧，采用LED光源，江苏SU8光刻机，曝光分辨率可达2um，SU8光刻机哪家好，曝光均匀性大于90%，可实现微纳结构的精细制备；匀胶机，转速稳定性为±0.5%，转速达10000转，可确保光刻胶均匀涂敷，提高一致性；热板，温度稳定性±1%，可为SU8模具提供充分的烘烤，从而提升SU8模具结构的耐久性和机械性能。相比传统加工平台，设备体积庞大，环境要求严苛，SU8模具加工平台适应性强，SU8光刻机设计，光刻机占地面积小，普通实验室也可轻松部署。SU8模具加工平台，有利于客户快速实现芯片制备，为微流控技术的推广和应用提供便捷途径。

2、平台组成2.1 电子秤

量程：0.01~1000g精度0.01g方形托盘大小：16x18cm

2.2 脱泡器

材质：PC材料隔板直径：230mmyouzhi硅胶O型密封圈可维持高真空

2.3 PDMS浇筑器

材质：铝合金真空吸附硅片规格：适合4寸及4寸以下SU8模具或纯硅模具浇筑

2.4 烘箱

温度范围：10℃~300℃温度分辨率：0.1℃温度波动：±0.2℃内胆材料：不锈钢内部尺寸：35x35x35cm（长x深x高）外部尺寸：46x56x64cm（长x深x高）电源：220V功率：0.8KW2.5 PDMS芯片打孔器介绍PDMS芯片打孔器，借鉴了台钻的机械原理，并对he心结构进行了优化，使得该打孔设备在操作过程中表现更为稳定。它适用于制备各种软质微流控芯片（如PDMS芯片、硅胶芯片等）的进样孔。可通过限位螺栓调整所需孔深度（范围为0-20.0毫米），可更换不同内径针管（范围直径0.41-9.0毫米）控制进样孔尺寸。

匀胶机

调速范围和时间：

I档：50~10000转/分，时间0~999s

II档：50~10000转/分，时间0~999s

适用：直径5~100mm硅片及其他材料匀胶

转速稳定性：±1％

胶的均匀性：±2％

电极功率：40W，单相110~240V

真空泵抽气速率：＞60L/min

热板

温度：0~300℃

温度稳定性：±1℃

功率：850W

台面大小：200x200mm

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