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涡轮分子泵可短时承受大气的冲击,并有启动快、制动快、比较洁净的优点。这种泵特别适用于在大排气量下工作,压力为 10-Pa 以上时泵的排气量几乎是定的,这时只与前级泵的大小有关;在这个范围内可忽略抽速的不稳定性和润滑油的返流影响。这些特性恰好是油扩散泵所不具备的。这一特点,对于要求先抽到高真空,然后再在以压力为 0.1~1Pa的真空系统内以连续气流工作的溅射薄膜沉积来说是十分重要的。阿尔卡特涡轮分子泵维修



在这个特殊管道中,蒸汽经过喷嘴的出口到扩压器入口之间的这个区域(混合室),由于蒸汽流处于高速而出现一个负压区。此处的负压要比工作蒸汽压强和泵出口处所能承受的大压强(反压强)低很多。阿尔卡特涡轮分子泵维修



此时,被抽气体吸进混合室,工作蒸汽和被抽气体相互混合并进行能量交换,把工作蒸汽静压能转变来的动能传给被抽气体,混合气流在扩压器扩张某而产生正激波,波后的混合气流速度降为亚音速,混合气流的压力上升。亚音速的气流在扩压器的渐扩流动时是降速增压的。混合气流在扩压器出口处,压力增加,速度下降,而后从压出口排出。故喷射泵也是一台气体压缩机。阿尔卡特涡轮分子泵维修

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两个旋片把转子、定子内腔和定盖所围成的月牙型空间分隔成A、B、C三个部分,当转子按图示方向旋转时,与吸气口相通的空间A的容积不断地增大,A空间的压强不断的降低,当A空间内的压强低于被抽容器内的压强,根据气体压强平衡的原理,被抽的气体不断地被抽进吸气腔A,此时正处于吸气过程。Alcatel分子泵控制器维修



1. 泵油量不足或油温过高

泵油量不足会导致泵内缺少润滑,从而使得机械泵轴承过热,阿尔卡特涡轮分子泵修理,出现异常声音。此时需要检查油箱内油的余量,若不足需及时添加。

油温过高则说明泵内散热不良,需及时清洗冷却器并检查散热风扇是否正常工作。Alcatel分子泵控制器维修



在抽除有毒、腐蚀性等对人体有害的气体时,拆卸前,请先使用N2对真空泵进行清扫,务必使残留气体尽数排出。请注意,运行时真空泵零部件温度很高,请在泵完全冷却后再行拆装,以免伤到自己。Alcatel分子泵控制器维修

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  在某些中真空应用中,需要进入10-1Pa范围,这对罗茨泵的二级机组往往难于实现,而使用二级罗茨泵串接的三级机组可使真空度提高一个数量级而进入10-1Pa,所以中真空应用也常用三级机组。由于分子增压泵在10-1Pa可以满抽速,所以亦可以在三级中真空机组中取代两级罗茨泵。一般地讲,长时间工作在中真空的低端压力范围的罗茨泵,adixen ATP150分子泵维修,分子增压泵可以完全取代。而长时间工作在中真空压力范围的罗茨泵相对而言应该较少,因为这一压力范围前级泵往往还具有强劲的抽素。adixen ATP150分子泵维修



在罗茨真空泵中吸入气体被压缩的过程不是连续的,而是突然的。吸入气体随转子转动而被封闭于腔内,又随转子的旋转,使腔内的气体突然与排气口接通。由于排气一侧的气体压力较高,排气口处的气体就向腔中返冲,然后又随着转子的旋转而被驱赶排出泵外。这样的过程在每旋转一周中两个转子共进行四次排气过程。adixen ATP150分子泵维修



对于较大型的高真空应用设备,adixen ATP150分子泵维修,也可适当加强前级泵的预抽能力,进一步缩短抽气时间,由于预抽时间与整个排气过程相比很短,所以前级泵的使用时间也很短,因此可以兼作多套设备的预抽作用,而这往往是非常现实的。这就使规模化应用的真空机组得到大大的简化。adixen ATP150分子泵维修

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