氦质谱检漏仪的基本原理与结构

氦质谱检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，质量分析器和离子检测器;真空系统-般由分子泵机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束，以-定能量注入质分析器，目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。子检测器的作用是手机质星分析器所选定的氦离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率

真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和氦气的引入。空系统-般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的氦质谱检漏仪，该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度，但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通，因

此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，氦气是逆扩散到质谱管，不会对系统有污染，因此被广泛采用，天津氦检漏系统厂家，已成为市场的主品。

机械泵的工作方式不-样，分为干泵检漏仪和油泵检漏仪，油泵工作会有油雾排出，污染工作环境，干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。

氦检漏设备

真空法氦质谱检漏：

采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气，电力开关真空箱氦检漏系统厂家，当被检产品表面有漏孔时，冷凝器氦检漏系统厂家，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。

检漏设备在检测时需要留意的事项

检漏设备来讲，咱们其实也便是要留意，这个方面来讲，真空箱式氦检漏系统厂家，其实也便是能够快速的找出它的走漏点，其本钱来讲其实也便是会比较高，咱们的检漏设备其实也便是能够合适批量化作业；这个方面来讲的话，咱们其实也便是要留意，关于其检漏设备应该在无风状态下进行运用。

再者，咱们其实也便是要留意，关于检漏设备检测气密性的时分，首要来讲，其实也便是要留意制止呈现揉捏的现象，简略来讲，其实也便是要直接的制止其践踏仪器或者是直接的坐在仪器上，或者是在咱们的仪器上直接的摆放其他物品。

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