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氦质谱检漏法由于其高的灵敏度、方法的多样性、对各种试件的适应性以及无破坏性,使其广泛应用。氦质谱检漏设备应在施工工作完成后进行本测试,测试完成后不得进行焊缝的修磨等。若设备被浸湿或有残余的液体都会影响毛细管的泄漏而影响测试结果的真实性。氦质谱检漏仪是用示踪气体氦气的专门用于检漏的仪器,它性能稳定,灵敏度高,是真空检漏技术中较成熟的设备,家电行业氦检漏厂商,使用比较普遍的检漏仪。为工厂作业人员的安全以及环境保护,氦质谱检漏仪成为化工管道检漏的的选择。


氦质谱检漏设备检漏过程中,如发现大量氦气进质谱检漏仪,应立即移去吸,防止因仪器长时间清除不掉氦影响而延误测试。于氦检是通过氦穿过漏孔来检漏的,所以焊缝表面若存有油污、 焊渣以及设备内部的积水、污垢等都会使泄漏孔暂时阻塞而影响检测结果,因此,测试前必须设备内部清理干净及焊缝表面并用热风装置将设备内部干燥。氦质谱检漏主要领域:电力工业——高压开关、避雷器、发电厂冷凝器系统;电力工业——电子器件、半导体、传感器和积成电路;


检漏步骤为:若步骤1和2均未检出漏点,就要考虑各个真空泵性能的问题,首要检查机械泵油、罗茨泵油是否缺少,如果泵油缺少会大大降低泵的抽气性能,其次检查机械泵的阀片,通过向机械泵排气口喷吹氦气来检测其阀片的密封性。扩散泵油或扩散泵加热器异常也会造成极限压不合格。还应检查真空计是否准确以及真空系统设计是否满足技术要求。


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