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空气从洁净室天花板上的空气过滤器输送到房间。就像空气活塞一样,气流向下流过房间,把污染物带出地面。与外部的一些新鲜空气混合后,洁净工作台,再循环到空气过滤器。由人员和工艺产生的悬浮污染可以被这种空气立即清除,而湍流通风系统使用混合和稀释原理。在没有任何障碍物的空房间里,超净工作台,风速低得多的单向气流可以迅速清除污染物。但在手术室里,机器和在机器周围走动的人会对气流造成障碍。
另外,当湿度过高时,粘在硅芯片表面的灰尘会被化学吸附在表面,难以清理。相对湿度越高,去除附着越困难。而当相对湿度低于30%时,由于静电力的作用,颗粒容易吸附在表面,大量半导体器件容易击穿。
净化工程压力调节
对于大多数洁净空间来说,晋城工作台,要保持内压(静压)高于外压(静压),以防止外部污染的侵入。压差一般应按照以下原则维持:
要严格的控制好焊接切割等灰尘工作,避免一些垃圾的散开,每天工作结束之后都要把这个垃圾从房间里面拿出来,倒进一些的地方。建筑材料的整齐的堆放在一块,不能在室内小便违反规定的人是不是可以在这个车间工作?根据净化工程的需求以及GMP的要求设计和安装,都应该避免一些难以清洁的地方。
净化工程所有的附件天花板固定悬挂部件,人物和主体结构相连接。选择气密性较好,温度和湿度变化都很小的材料就行。墙壁和天花板的表面应该光滑平整,没有灰尘抗腐蚀性,那么在临界处应该创建一个半径为50mm的圆角,标准工作台,墙壁的颜色要和谐优雅一点,更加容易识别。已经完成的净化工程,不要因为碰撞或拍打导致凹陷的情况。
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