流量计-质量流量计TF-1000-津泽机电科技(优选商家)
TOKYOKEISO东京计装集成流量控制器CLFC300系列流量计

TOKYOKEISO东京计装集成流量控制器CLFC300系列

集成流量控制器CLFC300系列,分体式流量控制器FC6000

产品介绍

CLFC300系列是集超声波流量计检测器、控制阀、流量计算、阀门控制电路为一体的流量控制器。

搭载了可以极高速跟随目标流量的控制功能,用于控制半导体设备所需的各种液体,如化学液体的恒定供应、DIW流量控制、浆料流体的定值控制.

特征

改进的可控性

改进了传统的运算处理,提高了抗气泡性。

流量测量的稳定性也得到了提高。

改进的可控性

在阶跃响应性能方面,新的运算电路实现了极快的响应,实现了对设定值1.5秒以内的控制速度。

提供 2 种阀门类型

我们有用于化学液体和 DIW 的针阀,以及用于浆液的夹管阀。

STA-PURE Style Pcs (STA-PURE) 管已新添加到夹管类型中。

Stapure 管非常耐用,无需定期更换管。

小巧轻便

超声波流量计检测器、控制阀和电路部分都装在一个小机箱内,质量流量计TF-900系列,安装在设备内部时可节省空间。

结构经过重新设计,流量计,使传统产品更加紧凑。(下降20%)

重量也随着小型化而减轻。(下降 35%)

减少接线和管道

安装时只需连接进出液接头,用多芯电缆进行电气布线即可,无需复杂的配管和布线。

环保

减少电流消耗。(实际值减少 35%)

由符合 RoHS 标准的部件构成。

高耐腐蚀性

PFA 和 PTFE 是极耐腐蚀的材料,用于接液部件,可应用于处理半导体和化学品的各种行业。

PVDF 也用于表壳材料。

EMC 合规性




小口径超声波流量计UCM-04A/06A东京计装TOKYOKEISO流量计

小口径超声波流量计UCM-04A/06A东京计装TOKYOKEISO

UCM-04A/06A是一款小口径超声波流量计,质量流量计TF-1000,可以高精度、稳定地测量超纯水和各种化学品的流量。

通过将检测器和转换器一体化,可实现大幅小型化和省空间化,另外,在正面显示7段流量和LED条形图,因此即使在现场也可以确认流量。所有接液部件均由用于半导体行业的模压 PFA 制成,大流量热式质量流量计,具有理想的清洁结构,没有容易积聚液体的移动部件或密封件,非常适合半导体设备等需要清洁度的工艺。流量计的入口和出口是标准尺寸的管子,可以连接到各种 PFA 接头。它可以轻松连接到仅用于简单流量监控的过程。

特征

转换器和检测器为一体结构,配管和配线非常容易。

节省空间

仪表正面的 7 段 LED 条形图使您即使在黑暗的地方也可以检查流量。

可使用配置软件更改报警输出等参数设置。

内置理想清洁结构的检测器

磁铁调零

通过RS-485通讯进行参数设置

符合 RoHS 标准

主要用途

半导体制造设备过程中纯水和超纯水的流量测量

各种药液注入工艺的流量测量

强腐蚀性液体的流量测量

适用于中小直径过程液体流量测量

清洗设备的流量测量和控制




东京计装TOKYOKEISO防爆质量流量计EP-TC- 1000

EP-TC-1000系列质量流量控制器是一种耐压防爆调节阀,与EP-TF-5300系列质量流量计配套使用作为流量计。控制压差宽达100L/min(nor),高工作压力2.9MPa,可高精度自动控制各种气体的质量流量。

高压用EP-TC-2000V 系列与 H-EP-TF-5300 系列组合使用。高工作压力可达9.8MPa。

特征

防爆结构

质量流量计和质量流量控制器都与氢气气氛 1 级位置兼容。应用范围大大扩展。

高精度 ±1% FS

凭借的理论和多年的知识,准确测量气体质量流量。

流量范围广

它适用于从实验工厂到大规模流程的广泛应用。

与TM-1400/2000微型转换器单元组合,可轻松进行显示、集成和控制。

HM1000是一款气体质量流量计。有两种类型:型和通用型。

特征

流量范围广

支持小 0 至 5 mL/min (nor) 和大 0 至 20 L/min (nor) 的广泛范围

±1.5% FS (通用型)

组合丰富,周边设备齐全

提供电源装置、数字指示器和设定装置(仅使用控制器)。易于安装和接线。

负担得起的经济价格

应用

一般工业用途

各种分析仪器

气体恒流控制

气体混合分流系统

HM5000是一款气体质量流量计。有通用型和型两种,可根据用途和目的选择。

特征

流量范围广

小 0.5mL/min(nor) 和大 0.400L/min(nor) 的广泛范围

±1%FS(型)

通过混合IC提高可靠性和小型化

功能可以通过选项升级

软启动功能(常闭型)

输出信号1.5VDC

应用

一般工业过程

各种化学分析

半导体制造工艺

气体恒流量控制、混合控制

设备内置




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