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1、仪器是科学技术发展的重要前提和根本保障。人类发展任何一次大的飞跃都是基于工具的巨大创新和根本变革驱动的，作为“工具”的科学仪器的发展和创新往往是催生科技创新的重要要素。

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灵敏度表示当被测的量有一个很小的增量时与此增量引起仪表示值增量之比，它反映仪表能够测量的被测量。响应时间是指仪表输入一个阶跃量时，其输出由初始值次到达终稳定值的时间间隔 ，一般规定以到达稳定值的95%时的时间为准。此外，三轴伺服高速机械手，还有重复性、线性度、滞环、死区、漂移等性能技术指标。

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由驱动机械手执行机构进行工作。通常它的具有很大的抓举能力（高达几百千克以上），其特点是结构紧凑、动作平稳、耐冲击、耐震动、防爆性好，但液压元件要求有较高的制造精度和密封性能，否则漏油将污染环境。

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