涡旋真空泵的应用领域

涡旋泵已被广泛应用于半导体行业：薄膜制造设备、半导体器件封装设备。科学仪器行业：同步辐射光束线机、电子显微镜、极光试验设备、分析测试仪器。机械设备行业：材料制备设备、真空检测、材料提纯设备、超高真空排气设备。医院设备行业：透析机、生物制备与药品制备。包装行业：食品、药品、生物制品包装设备等领域。涡旋泵作为分子泵和小型低温泵的前级泵是获得无油真空系统很好的配置。

涡旋真空泵的应用领域　　

涡旋泵已被广泛应用于诸多领域:

品行业：升华、干燥、脱水、真空蒸发、真空保鲜、真空包装等。

科研院所：旋蒸、蒸馏、精馏、聚合、负压抽滤、真空干燥、中试装置、风洞试验、真空环境模拟等。

电子光伏：浸渍、真空镀膜、离子刻蚀、分子束外延等。

航天航空：钎焊、真空镀膜、电子束焊、风洞试验、空间环境模拟等。

冶金行业：浸渍、挤出、真空镀膜、离子刻蚀、泥料脱气、钢水脱气、分子束外延等。

核工业：零泄露爪泵可抽除UF6气体

涡旋真空泵的结构特点

涡旋真空泵主要由5 个部件组成：

（1）动静涡旋盘副与基座；一个或几个渐开线螺旋形成的一个涡旋型盘状结构体。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘相互交错， 两者之间保证180°相位差组成的一对涡旋盘副机构。

（2）曲轴：保证动涡旋盘绕静涡旋盘转动的偏心机构。

（3）密封件：保证动、静盘的端面齿顶密封等的密封装置。

（4） 防自转机构：保证动、静盘180°相位差的机构。

（5）电机：输出约1500r/min的动力机构。

它的主要运动件只有一个动涡旋盘，涡旋真空泵公司，因而动力传递简单，相同尺寸下运动半径小、零部件少、结构简单紧凑、整机尺寸小，动、静涡旋盘之间、动盘与泵腔之间间隙小，泵内运动件与泵腔无摩擦，天津涡旋真空泵，所以几乎无磨损，运行平稳，消耗功率小，气体流动损失小，工作可靠性高、寿命长，易于维修，维修费用低。采用空气冷却，无需水冷。

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