鄂尔多斯1260液相设备-科鲁斯特测控公司
LPE的硅外延层,以其良好的电学、光学及其生长特性,而在CVD无法胜任的领域应用前景诱人.目前,取得较为成功的方面有:(1)垂直沟道的场控制器件中的埋栅制造及沟道的外延再填;(2)太阳能电池;(3)超晶格器件;(4)三维集成技术 [1] .场控制器件:CVD在硅器件的埋结制造中,因自掺杂而出现埋层尺寸增加,密排栅极叉指制造也受到严重影响,而LPE因其可以消除自掺杂,而在这方面得到应用,尤其对硼扩散的埋栅区域的埋结制造,其优点更为明显 [1] .
操作压力范围:高 200 bar (20 MPa 或 2901 psi) 1260 Infinity 自动进样器的性能指标 1、通讯:局域网 (CAN)。RS232C, APG-远程标准,1260液相设备哪里有,?可选的四个外部触点闭合和 BCD 数字输出
2、安全功能:渗漏检测和安全渗漏处理、维护;区域低压、错误检测和显示
3、进样量范围:
0.1 – 100 μL,1260液相设备价格,增量为 0.1 μL
带多次抽取组件(需改动硬件)时高达 1500 μL
4、进样精度:
5 ~ 40 μL内,<0.25%
2~ 5 μL 内,<0.5%
1~ 2μL 内,<0.7%
0.5~ 1μL 内<1.5%,
5、进样准确度:± 1% (10 μL, n=10)
6、样品黏度范围:0.2~ 5 cp
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