右侧部分为气路原理

用户可以明确地知道气路原理与气路基本构成，并可通过手动方式，自动配气仪，控制内部截止阀（V1-V6的开关）

INLET1 - 设备所用背景气，一般为空气或氮气。

INLET2 – 原料气，用户可通过列表选择多种气体种类。

初级储气罐 - 用于二次配气时储存初级配比出的一定浓度气体，系统自动维持压力在0.5MPa以下，在使用二级配气条件下，初级储气罐自动维持压力在0.45-0.5MPa上下，用以满足二级配气下MFC4的正常工作使用压差。

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配气仪

配气仪是用于将两种或两种以上的气体（市面上多为两种），按照一定比例进行配比、混合并输出设定浓度气体的仪器。目前市面上多见的有两种原理的配气仪，自动配气仪公司，一种是三通电磁阀原理，另一种是质量流量计原理。根据用户需要可自行选择。

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静态分配方法的特点

1、除了高压缸分布方法，静态分配方法有一些优点，如设备简单、操作方便、标准物质和稀释气体的剂量小等优点。

2、而是因为一些气体化学性质活泼，长期接触容器或可能发生吸附反应，导致气体浓度不准确或改变随着时间的推移，自动配气仪报价，特别是对于低浓度的气体，误差较大。

因此，静态分布规律一般只适用于使少量的化学活泼性标准气体，使大量的标准气体，特别是制定标准气体的化学活性物质，必须选择动态分配方法。

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