气体质量流量控制器对于气体的要求

1，气体必须洁净且没有颗粒物， 没有液体，空气流量控制器， 这就要求在MFC/MFM的上游气路中安装干燥器和过滤器。

2，输入的气体压力必须符合产品的耐压标准， 不能超过该产品要求的较大压力。

3、产品的使用气体必须与用户订货选择的密封材料相适应，空气流量控制器哪家好， 用户有责任按照可用的安全规章使用每种气体。不正确的使用产品会使保修无效，还容易产生危险。

气体质量流量控制器应用领域

气体质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密的测量和控制。其广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产并在其中起着重要的作用。典型的应用场合包括微电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。

气体质量流量控制器的主要优点是什么？

(1) 流量的测量和操纵不因温度或负载的变化而产生误差。 针对大部分流量控制系统来讲，难以防止系统的工作压力起伏及自然环境和物质的温度转变。针对一般的流量计，工作压力及温度的起伏将造成很大的偏差；针对质量流量计 / 质量流量控制器，则一般可以忽略。 

(2) 测量操纵的自动化技术 质量流量计 / 质量流量控制器可以将流量测量值以规范电子信号輸出。那样非常容易实现对流量的数据显示﹑积累流量﹑数据信息自动保存﹑电脑管理等。对质量流量控制器来讲，还能够完成流量的自动控制系统。通常， 模拟的MFC/MFM数据信号为0~ 5V或4~20mA， 数字式MFC/MFM还装有RS232或RS485数据串行通信通信口， 能十分便捷地与电脑联接， 开展自动控制系统。

 (3) 定量操纵流量 质量流量控制器可以控制汽体的给定量，空气流量控制器多少钱，这对许多加工工艺全过程的流量操纵﹑针对不一样汽体的控制算法等尤其有效。

 (4) 应用领域宽 有很宽的压力范畴，可以适用真空环境和高压环境; 可以适用多种气体（包含一些腐蚀汽体，如HCL）

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