超声波清洗新发展

随着应用范围的扩大，晶元清洗哪家好，超声波清洗技术也有了新的发展。传统的超声波清洗设备由于自动化程度不高而难以保证零件清洗的均匀性，近年来逐渐出现了自动化程度高、灵活性强的自动化超声波清洗设备。不但实现了超声波清洗的自动化控制和批量作业，还稳定了清洗工艺、提高了清洗质量。这类超声波清洗设备将超声波清洗和化学清洗、漂洗、脱水、烘干等工艺结合，因而有非常高的清洗效率。在传动、烘干、清洗方面通常使用PLC控制，晶元清洗报价，实现了清洗过程的全自动化。

贴合式兆声清洗

头贴近被清洗物，清洗效率更大程度减少清洗液使用量清洗精度高，可去除0.2微米的污渍颗粒超低的声空化效应，晶元清洗，不损伤器件表面石英或蓝宝石耦合技术，无杂质脱落风险腐性，可耐各种酸碱溶液及。

兆声清洗利用兆赫兹级别的超高频超声波能量推动基材表面亚微米级颗粒的去除以及化学反应。相比于低频超声波空化效应，兆声波空化效应可清除更小的颗粒并且大幅降低对基材的损伤。

贴合式兆声清洗头概述

槽式兆声清洗的优点在于其兆声换能器面积较大，可以大面积辐射兆声声场，从而更的进行清洗。但缺点是兆声声场在水槽中分布不均匀，距离换能器越远声强越弱，同时声能传递效率较低。喷淋式兆声清洗的优点在于可直接将兆声能量聚焦在清洗物表面，从而可通过运动清洗物和喷头实现清洗物表面均匀的声场分布，且声能传递效率较高。但喷淋式需要较大的清洗液流量，对清洗液浪费较大，并且喷淋式兆声换能器面积较小，从而声能辐射面积较小，清洗速度较慢。

贴合式兆声清洗是一种吸取了槽式和喷淋式两种兆声清洗的优点并摒弃了二者缺点的更优化的兆声清洗技术。它可以以相对大的面积直接将兆声声能均匀的传递到晶圆表面，具有非常高的传递效率和声场均匀性，同时非常节省清洗液。

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