氦质谱检漏仪的检漏方式有那些

氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。

逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比（气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比）即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。

氦质谱检漏仪逆扩散原理

逆扩散方式检漏允许被检件内压强较高，氦质谱检漏仪可达1000Pa（一般常规检漏仪为0.05Pa以下），适合检大型容器或有大漏的器件，也适合吸检漏。逆扩散方式还具有质谱管不易受污染，灯丝寿命长等优点。

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氦质谱检漏仪热管检漏

热管

热管 (Heat Pipe) 是利用热传导原理与致冷介质的快速热传递性质，透过热管将发热物体的热量迅速传递到热源外，其导热能力超过任何已知金属的导热能力。热管技术目前广泛应用于计算机、各类电器等设备散热，常见的形状有圆管状，板块状 (VC 单体) 等。

热管需要检漏原因：

热管内部填充特殊液体用来增强热传导性能，如果热管本身存在漏点，首先会影响热管的导热性能；其次由于热管都是安装在设备内部，如果发生泄漏，里面封装的液体就会流出，严重污染和影响设备的正常运转，所以热管生产企业，都会采用 氦质谱检漏仪对热管进行检漏。

热管检漏客户案例：某电子股份公司，空调测漏设备，是世界 IT 产业 500 强之一，分公司及营业处遍及美国、日本、欧洲、苏格兰、新加坡等地，员工近 90000人。该企业是较大的电源供应器制造商，市场占有率达 25% 以上。

热管检漏方法：

该企业热管出厂前标准漏率合格线是 E-8 mbarl/s，使用氦质谱检漏仪检漏时，设定 E-8 为报警值，当漏率低于该值时产品是合格的，当漏率高于此值，检漏仪发出声光警报，说明产品有漏。

热管采用检漏仪的真空检漏模式，因为产品没有抽真空的标准接口，上海伯东根据客户实际情况定制真空夹具，一头连接检漏仪，一头连接产品，具体做法如下：

1.启动氦质谱检漏仪，装上夹具

2.将热管插入夹具，并用真空封泥封堵

3.按下检漏仪启动键，开始抽真空

4.在产品周围喷氦气，以 E-8 mbarl/s 为合格线

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氦质谱检漏仪

北京科仪真空技术有限公司是国内新兴的一家从事真空领域的高新技术企业。

氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。

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