空气从洁净室天花板上的空气过滤器输送到房间。就像空气活塞一样，气流向下流过房间，把污染物带出地面。与外部的一些新鲜空气混合后，液槽高效送风口，再循环到空气过滤器。由人员和工艺产生的悬浮污染可以被这种空气立即清除，而湍流通风系统使用混合和稀释原理。在没有任何障碍物的空房间里，风速低得多的单向气流可以迅速清除污染物。但在手术室里，机器和在机器周围走动的人会对气流造成障碍。

净化工程洁净室温湿度控制净化工程洁净空间的温度和湿度主要是根据工艺要求来确定的，但在满足工艺要求的条件下，也要考虑到舒适度。随着空气洁净度要求的提高，对温度和湿度的要求也有越来越严格的趋势。具体工艺对温度的要求后面会列出，但作为一般原理，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如，在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，玻璃与作为掩模材料的硅片之间的热膨胀系数差要求越来越小。

净化工程技术对精密机械和精细化工的意义：

　　随着科学技术的发展，许多工业产品的生产加工对生产环境中的粉尘浓度提出了极高的要求，要求生产环境具有一定水平的洁净空气，控制生产过程中所需的各种相关物质的供应质量。比如在胶片制作中，如果胶片被灰尘污染，高效送风口，感光乳剂就会被氧化，液槽式高效送风口，活性减弱，pH值发生变化，从而影响胶片的感光性能。

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