高纯六氟化硫

用途：在半导体生产中用作高密度等离子刻蚀的氟源，不会产生含碳副产品；

变压器中的绝缘介质；

金属冶炼中的保护气氛；

六氟化硫断路器、互导传感器、六氟化硫避雷针的灭弧气体

电子级高纯六氟化硫作为一种理想的电子蚀刻气体，广泛应用于微电子技术领域

作为光导纤维制造中的单膜光纤隔离层掺杂剂

作为大气污染监测和水文地质检测领域的示踪剂

肝i脏肿i瘤的超声造影检查的造影剂也作为六氟化硫的用途

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储运

1.运输注意事项：无腐蚀性，可使用通用材料.对液Ar可使用奥氏体不锈钢。Ar一般用玻璃瓶或钢瓶贮装。在贮运过程中应轻装轻卸，严防容器碰损。液Ar产量小，可以采用类似于小型液氮屏型的液氦容器贮存和运输。采用此类容器时，其内容的支撑必须补强，以适应液Ar较大的密度。

2.储存注意事项：库房通风低温干燥; 轻装轻卸。

（D2)

包装：采用44L钢瓶充装，也可根据客户需要分装到2-8L的气瓶中。

用途：在半导体、平板显示器、太阳能电池等电子行业在硅烧结或退火工艺中置换氢；应用于核子融合反应。

理化性质: D2是普通氢较重的稳定同位素。它是无色、无味、无毒的可燃气体。其沸点为-249.5℃。与分子氢一样，双原子D2分子也存在正、仲同分异构现象。室温下，D2正-仲异构体混合物的平衡组成为2：1，特种气体检测，这种D2称为常态D2。降低温度，有利于向正D2转化。在20.4K时，平衡混合物含正D297.8%，特种气体行业，此时的D2称为平衡D2。

注意事项：

储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不超过30℃，江苏特种气体，相对湿度不超过80％。应与氧化剂、卤素分开存放，特种气体用途，切忌混储。采用防爆型照明、通风设施。禁止使用易产生火花的机械设备和工具。储区应备有泄漏应急处理设备。

密闭操作，加强通风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员穿防静电工作服。远离火种、热源，工作场所严禁吸烟。使用防爆型的通风系统和设备。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂、卤素接触。在传送过程中，钢瓶和容器必须接地和跨接，防止产生静电。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备。

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