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在纯水的制作中，水质标准所规定的各项指标应该根据电子(微电子)元器件(或材料)的生产工艺而定(如普遍认为造成电路性能破坏的颗粒物质的尺寸为其线宽的1/5-1/10)，但由于微电子技术的复杂性和影响产品质量的因素繁多，至今尚无一份由工艺试验得到的适用于某种电路生产的完整的水质标准。随着电子级水标准的不断修订，而且高纯水分析领域的许多突破和发展，桶装矿泉水，新的仪器和新分析方法的不断应用都为制纯水工艺的发展创造了条件。

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通常，可通过对氧气进行放电处理来获得臭氧气体（与大气中的臭氧类型相同）。臭氧是一种杀菌剂，它可以杀i死微生物。将臭氧（O3）分子注入水中以进行杀毒处理后，臭氧分子会自然分解并迅速从水中逸出。进行臭氧处理的另一个好处是，臭氧分子分解为O2和氧离子时，自由的氧离子会与铁和硫等其他污染物相结合。当氧离子与这些污染物分子结合时，污染物会变为不溶解的氧化物。然后，这些不溶解的污染物会被过滤出去。

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