涡轮分子泵也是一种机械式真空泵，通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气的，英福康真空泵维修有限公司，在分子流区域内对被抽气体产生很高的压缩比，从而获得所需要的真空性能。涡轮分子泵极限真空比扩散泵高，可达10-8 pa。英福康真空泵维修
正常工作时需要一定的前级真空度，其真空度高低视泵不同略有差异，一般在1-200pa之间，可采用机械泵作为前级泵，由于涡轮分子泵的转速高，通常用中频电机带动，中频电源的频率在300-400HZ之间。涡轮分子泵一般采用水冷方式。英福康真空泵维修
半导体器件的生产制造工艺极其复杂，需要在高纯度硅片上执行一系列精密的物理或者化学操作，例如掺入相应的其它元素、形成多种金属薄膜和绝缘膜、进行表面的刻蚀处理等。这些复杂的生产制造工艺都需要在分子泵维持的高真空环境下进行，而且对真空系统和真空设备的洁净度也有着很高的要求。英福康真空泵维修
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在工业生产和科学实验中，往往希望真空装置的真空室中的真空度能按真空工艺的要求，维持在某一给定值上。这种要求通常可以通过手动调节真空微调阀来完成，倘若希望自动地完成压力调节，就要借助于压力控制仪来完成。英福康真空计保养
如用一附加的热偶测量热丝的温度，则这种规头称为热偶规；如利用热丝本身的电阻值来反映温度，则称电阻规或皮喇尼规。气体热传导只在低压强 (P<100帕)下随压强变化，而低至10-1帕时气体热传导又不是主要的散热方式，因此热传导真空计主要用于100～10-1帕范围，采取特殊措施可扩大测量范围。热传导真空计的指示不但和气体种类有关，而且易受热丝表面污染、环境温度等因素影响，故准确度不高，只作粗略的真空指示用。英福康真空计保养
氦质谱检漏技术是真空检漏领域不可或缺的技术，利用该技术检漏*率高，操作方便，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体干扰，上述方法在检漏技术领域中经常使用，包括从小泄漏检测到大泄漏检测，从确定泄漏检测到确定泄漏率泄漏检测，更quan面地列出各种泄漏检测方法，相信在工程实际应用中具有良好的参考价值。
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氦质谱检漏仪是以氦气作为示漏气体，对真空设备及密封器件的微小漏隙进行定位、定量和定性检测的检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简便，检测迅速等特点，是在真空检漏技术中用得普遍的检漏仪器。
为了正确使用氦气检漏设备，在充入检漏气体前有必要对抽空样品进行预抽空。如果在填充前没有排空，试件中的空气将被挤压到几何空间的末端，氦气检漏设备中的气体不能进入该部分，因此潜在的检漏孔将仅释放空气，检漏设备不能检测到这些检漏孔。
氦气检漏设备的泄漏孔通常很小或很窄。如果泄漏孔在检漏气体试验前放在水箱中，这些泄漏孔或毛细管会被水堵塞或充满，从而大大影响检漏结果
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