固态深冷处理技术。利用干冰和冷却盐等固体介质来冷却金属材料。固态深冷处理技术具有降温速度平稳、温度场均匀等优点，适用于某些特殊材料和高精密零件。

气相深冷处理技术。利用液态氮气汽化时产生的低温气体来冷却金属材料。气相深冷处理技术具有降温速度快、适应性强等优点，适用于大尺寸、形状复杂的零件。

脉冲深冷处理技术。利用高功率的电子束、激光等脉冲能源来冷却金属材料。脉冲深冷处理技术具有降温速度极快、等优点，适用于、高精度、特殊用途的金属材料。

微波深冷处理技术。利用微波能量来对金属材料进行快速升温和降温。微波深冷处理技术具有同时进行深冷和回火的特点，适用于对特定材料进行综合性能调节。

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超深冷处理技术的发展历程可以追溯到20世纪初期，随着液态氮气的生产工艺的完善，东坑真空热处理，使得深冷处理技术成为可能。                     早采用深冷处理技术的是铁基合金，目的是为了提高其强度和耐磨性能。1925年，真空热处理，英国材料学家塞尔马利斯提出了金属在低温下的塑性变形规律，这一发现促进了对深冷处理技术的理解和研究。

20世纪中期以来，随着深冷处理设备的完善和工艺的改进，深冷处理技术逐渐被应用于航空航天、汽车制造等领域，横沥真空热处理，并取得了显著效果。20世纪60~70年代是深冷处理技术的发展时期，深冷处理技术已经进入了产业化阶段。在这一时期，对深冷处理过程中的降温速度、保温时间和回升速度等工艺参数进行了大量的实验和理论分析，以期优化深冷处理效果。

(1) 可靠性高，使用寿命长;

　　(2) 温度场分布均匀且温度升降速率控制;

　　(3) 制冷剂耗量少，节约成本;

　　(4) 加工工件范围广。

　　目前深冷处理的设备主要有两种形式，一种采用压缩空气来致冷，使用温度为-100℃，茶山真空热处理，而常用的深冷设备都采用液氮致冷，它既经济又方便。液氮制冷的方式，大致可以分为下面两种方式：

1、 液氮浸泡式制冷：将工件直接放到装有液氮的容器中，使工件骤冷至液氮温度，并在此温度下停留一段时间，后复温而完成整个深冷处理过程。深冷处理的研制前期都是采用液氮浸泡式方法进行深冷处理的。

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