质量流量控制器在高压条件下如何使用?

质量流量控制器的工作压差范围通常比较小， 要在高压条件下正常使用需要特别注意三点:1， 是要选择耐压符合要求的MFC; 2， 是要挑选工作压差范围大的产品型号;  3， 要在MFC气路前面加减压阀，流体系统控制单元， 稳定入口气压， 在MFC下游加背压阀， 稳定反应室和MFC出口的气压， 适当调节减压阀和背压阀， 要保证MFC的工作压差不会超过规定的范围。只要做到以上三点，  MFC就能够在高压条件下稳定工作。

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流体控制

流体控制是利用流体的各种控制元件（各种泵、阀门、油缸）及液压系统附件（过滤器、管路接头、液位计、压力仪表等），组成控制闭式回路，以进行自动控制。

液压控制 液压控制用油液作为工作介质，故能把由于功率的损耗而产生的热量，从发生的地方带到别处，这样在一定的功率情况下，可以大大减小部件的尺寸；从负载的影响看，流体系统控制单元报价，液压系统具有机械上的刚性，用在闭环系统中，定位刚度较大，位置误差较小；与机械机构相比，液压执行器的响应速度较高，能高速启动、制动与反向，流体系统控制单元公司，同时其力矩—惯量比也较大，因而其加速能力较强；液压传动易实现无级调速，具有自身润滑等优点。

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气体质量流量单位

气体质量流量单位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute，每分钟标准毫升）和slm（Standard Liter per Minute，每分钟标准升）来表示。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325Pa (760mm Hg); 温度—0℃ (273.15K)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之处。

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