气体质量流量单位

气体质量流量单位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute，每分钟标准毫升）和slm（Standard Liter per Minute，每分钟标准升）来表示。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325Pa (760mm Hg); 温度—0℃ (273.15K)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之处。

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质量流量控制器在高压条件下如何使用?

质量流量控制器的工作压差范围通常比较小， 要在高压条件下正常使用需要特别注意三点:1，气体流量控制模块， 是要选择耐压符合要求的MFC; 2，气体流量控制模块多少钱， 是要挑选工作压差范围大的产品型号;  3， 要在MFC气路前面加减压阀， 稳定入口气压， 在MFC下游加背压阀， 稳定反应室和MFC出口的气压， 适当调节减压阀和背压阀， 要保证MFC的工作压差不会超过规定的范围。只要做到以上三点，  MFC就能够在高压条件下稳定工作。

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流体系统

流体系统是流体机械的重要组成部分；在机械工程领域，流体系统是指与一维流体管网相关的元件及流体的集合，流体系统一般包括阀、液体泵(或气体压缩机)、管道、接头、孔和喷嘴等元件，也可能包括一些不规则形状的腔室和通道。在航空领域，典型的流体系统有飞机燃油系统、冷却润滑系统、防冰及除冰系统、发动机滑油系统及冷却系统等，这些系统无一不关乎着飞机及飞行员的的安全 。

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