离心真空泵是另一种类型的爱德华真空泵，其工作原理与旋片泵不同。离心真空泵采用离心力将气体从容器中抽出。当电机驱动泵体旋转时，气体被吸入泵内并随着泵体的旋转而加速，终在离心力的作用下被甩出泵体，从而达到抽气的目的。离心真空泵适用于高真空场合，广泛应用于航空航天、半导体工业、冶金、制药和化工等行业领域。

薄膜沉积：在半导体制造过程中，薄膜沉积是一个关键步骤。爱德华真空泵能够提供高纯度和无尘的环境，确保薄膜沉积的质量和性能。例如，物理气相沉积（PVD）和化学气相沉积（CVD）等工艺都需要用到真空泵来创造理想的沉积环境。

离子注入：离子注入是半导体制造中用于改变材料电学性质的重要技术。真空泵用于维持离子注入过程中的真空环境，确保离子注入的准确性和均匀性。

其他半导体工艺：真空泵还广泛应用于半导体制造的多个环节，如光刻、蚀刻、封装等，为这些工艺提供必要的真空环境。

爱德华真空泵作为欧洲品牌，以其的性能和可靠的质量赢得了客户的信赖。

节能：采用的技术设计，确保地提高能源利用率，并降低运行成本。

可靠稳定：采用材料和精密制造工艺，确保设备长期稳定运行，具有良好的耐久性。

安全易用：配备智能控制系统，爱德华GXS750干式螺旋真空泵维修，可以实现自动化操作，并提供多重安全防护功能。

以E2M275型号为例，其抽气速度为255m3/h，排量292m3/h，极限压力1.0 *10^-3mbar，功率7.5KW（三相），重量225kg，油量19-28L，噪音值75dB。




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