氦气在在半导体中的检漏作用

为了防止半导体器件、集成电路等元器件的表面因玷污水汽等杂质而导致性能退化，就必须采用管壳来密封。但是在管壳的封接处或者引线接头处往往会因为各种原因而产生一些肉眼难以发现的小洞，所以在元器件封装之后，就需要采取某些方法来检测这些小洞的存在与否。 氦气检漏就是采用氦气来检查电子元器件封装管壳上的小漏洞。因为氦原子的尺寸很小，容易穿过小洞而进入到管壳内部，所以这种检测方法能够检测出尺寸很小的小洞（即能够检测出漏气速率约为10?11～10?12cm3/sec的小洞），灵敏度可与性检漏方法匹敌，但要比性检漏方法简便。

氦气检漏试验的方法：首先把封装好的元器件放入充满氦气的容器中，并加压，让氦气通过小洞而进入管壳中；然后取出，并用压缩空气吹去管壳表面的残留氦气；接着采用质谱仪来检测管壳外表所漏出的氦气。

汽车氦检漏

充氦方式：箱内充氦待检工件：汽车空调冷凝器、蒸发器及管路真空箱数量：2个真空箱尺寸：1100（长）×550（宽）×250（高）mm，鸭嘴式自动开关门每箱可检工件数量：依据工件大小而定生产节拍：可依据客户要求而定氦气是否回收：是，设备带回收系统

双箱联动运行，充气柜真空镀膜机检漏厂家，每个真空箱可检多个工件真空箱翻盖式结构，自动开关箱门特殊设计的夹具与工件相匹配，满足不同工件的检测需要一体式设计，即整台设备安装在一个底座上，充气柜真空镀膜机检漏服务，设备移位简单方便配备堵塞检测功能，充气柜真空镀膜机检漏，判断工件是否有堵塞配备电脑及打印机，自动存储及打印检测数据适用于汽车空调蒸发器、冷凝器、管路的氦检漏方案

氦质谱检漏仪是否有精度级别一说？

所谓的精度终指向的是--测试氦分压 （微观为个数，宏观则表现为在容器壁上的压力）（空气中5ppm氦气）

（1）吸质谱检漏，假定流量为300 sccm， 则检漏仪的真实本底为 Q=PV*d(t)=2.5E-5mbarl/s，但行业中吸式都标准在常压情况下能测到E-7，是因为加入了软件滤波（抑零）等。

（2）真空法，氦本底=分子泵抽速（辅助泵有则加上）*腔体内氦浓度*入口处压力，有很多外部条件。

充气柜真空镀膜机检漏生产厂家-北京科创真空由北京科创鼎新真空技术有限公司提供。北京科创鼎新真空技术有限公司是从事“氦检漏设备,氦质谱检漏仪,LNG抽真空设备”的企业，公司秉承“诚信经营，用心服务”的理念，为您提供更好的产品和服务。欢迎来电咨询！联系人：任经理。