我们通常称的质量流量控制器，它的全称是热式气体质量流量控制器，英文：Mass Flow Controller(简称MFC)；而质量流量计的全称是热式气体质量流量计，英文名：Mass Flow Meter(简称MFM）。它们是一种准确测量气体流量的仪表，其测量值不会因为温度或者压力的变化而产生失准的现象。

松盛测控本体带数显流量控制器/流量计

质量流量计，是一种计量和监测的仪表；而质量流量控制器，不但具有质量流量计的功能，更重要的是：它能够自动地控制气体的流量，也就是说，用户可根据情况的需要，来进行流量的设定，流量控制器则自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离当初的设定值。简单来说，质量流量控制器就是一个稳流装置， 是一个可以手动设定或与计算计连接的自动控制气体的稳流装置。

所以总的来说，一般情况下，仅对气体流量进行计量或监测的话，用质量流量计就能够满足要求；而如果是需要对气体流量进行控制的话，则需要用质量流量控制器。某些测量场合，用二者皆可，如对毛细管流通能力的测量，当定压测流的时候， 用质量流量计; 当定流测压时， 需要用质量流量控制器。注意， 当质量流量控制器处于清洗状态时， 也可以当质量流量计使用， 只不过气压降要比普通质量流量计大一些。

流量控制器使用注意事项介绍

在使用热式气体质量流量控制器是应注意，额定电源电压为24VDC，功率与量程无关。电压或功率不足可能影响设备工作，如果电源针脚接错可能导致电路板烧坏，无法通讯，请勿在气源关闭的情况下打开控制器设定值，否则阀门会持续发热，气体流量计价格，影响寿命。本公司的气体质量流量控制器在上游或下游安装时，都没有直管段的要求，可以任意位置安装或倒置安装。

流量控制器的应用中IST流量传感器的作用

IST-AG通过特殊的薄膜工艺，将高精度加热器，温度传感器或电堆封装在单一芯片内，构成流量测量的主要传感单元（Figure 2） ，通过流量传感器以响应绝大多数流量测量场景，薄膜技术的应用使得IST AG流量传感器具有很好的结构与性能优势。为此IST流量传感器在MFC中的应用工采网推荐瑞士IST 质量流量传感器 - FS5.0.1L.195的升级版IST-AG FS7流量传感器。

IST公司的FS5.0.1L.195是一个热质流量传感器，数字气体流量计价格，用于各种气流应用.热质流量传感器使用热传递原则，确定流体的流率.随着流体通过传感器，混合气体流量计价格，热质由传感器传递到媒体.此关序取决于流动速率.随着流动增加，热量被传递.通过了解媒体的温度，即可通过为保持恒定温度差的电压补偿量得出流速。

而IST-AG FS7流量传感器宽广的测量范围允许将传感器直接置于被测气路当中，免去复杂的旁路设计。传感器具有陶瓷基底与钝化玻璃层进行保护，具有较佳的长期稳定性。

因此在终端应用中，质量流量控制器的可靠性多半是许多半导体工艺的基础。MFC 的失准或制造缺陷会导致晶圆产量下降，流量计价格，甚至会损坏整个晶圆。采用IST流量传感器则可以为MFC产品带来如下优势:

1、足够宽的测量范围使得在许多场景中不必使用旁路，而进行直接测量，提高测量的准确性。

2、薄膜技术带来极高的响应灵敏度，在一般测量状态就可以瞬间响应压力浪涌。

3、小巧的体积与简单的安装方式，给气路结构优化创造更大的空间。

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