XRF用光或其他激发源照射待分析样品，样品中的元素之内层电子被击出后，造成核外电子的跃迁，在被激发的电子返回基态的时候，会出特征光；不同的元素会出各自的特征光，具有不同的能量或波长特性。检测器(Detector)接受这些光，仪器软件系统将其转为对应的信号。这一现象广泛用于元素分析和化学分析，特别是在研究金属，玻璃，陶瓷和建筑材料，Compass 200，以及在地球化学研究、法医学、电子产品进料品管

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XRF（X-Ray Fluorescence-X射线荧光） 光谱仪是一种原子发射光谱仪。 在 XRF光谱仪 中，来自 X 射线光管主 X 射线光束的辐照会使荧光 X 射线的辐射呈现出样品中所存在元素的分散能量特征。

在可见和近紫外实现这些测量没有任何困难。测量通过个单色仪的光通量，紧接着测量通过两个单色仪的光通量，以这种方式来确定第二个单色仪的透射率。测量需要知道单色仪的透射率：对于相对测量，以各种波长处的相对单位可以测量透射率。真空紫外线的这些测量有相当大的实验困难，因此通常使用辅助单色仪。在各种入射角的情况下分别测量衍射光栅的效率。在许多实验步骤中已成功地避免了校准上的困难。




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