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真空箱法氦质谱检漏的原理与系统特点

真空箱法氦质谱检漏的充气回收检漏系统

1.配置与气路控制

真空箱:一般为双工位,两个不锈钢真空箱,开门装置可采用液压方式,或加配重的手动方式。

工件抽空系统:低真空泵及阀门,低真空测量充氮与回收系统:氦气储存罐(高压罐),氦气回收取罐(低压罐),主压缩机,辅压缩机,汽车空调系统检漏,过滤器以及一些高压阀和真空阀门等。

真空箱抽气系统:为自动控制型,由面板、PLC系统(可编程逻辑控制器),充氦回收系统,真空箱抽气系统的电路部分以及为自动检漏过程提供参考信号的压力传感器和热偶计,同时,实施对整个系统的工作控制,对检漏过程和结果显示。

2.系统检测过程

1)、通过v1、V4,泵系统对工件和真空箱抽真空,如果限定的时间内抽到限定的真空度,此时,系统检漏,电气控制系统关闭V1,汽车空调系统检漏,打开V2

2)、充氦系统通过V2对工件进行充氦至核定的压力,稳定,关闭V2

3)、关闭V4,打开V3、V5,处在正常工作状态待命的氦质谱检漏仪进行检漏,如果不漏,汽车空调系统检漏,电气控制系统指挥关断V3、V5,打开V2对氦气进行回收。

4)、关闭V2打开V6对真空箱放气,开启真空箱更换工件。

5)、如果第三点检漏仪检测到超过设定值(漏率)的工件,检漏仪声光报警,将:工作内的氦气回收,对真空箱和管道巾的氦气通过清洁泵抽除,免得影响检漏仪的检测效果和不污染检漏仪。

6)、维持泵有一定的氦分流作用,不宜过大(不超过41),清洁泵也同样。

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什么是氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪品牌浅析什么是氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪可靠的广泛的市场应用,此款氦质谱检漏仪适用于工业、分析研究、镀膜市场等。此款氦质谱检漏仪坚固耐用,抗震性能极强,可反复使用数年仍保证的检漏漏率。氦质谱检漏仪紧凑的设计适合串列生产和持续工作。氦质谱检漏仪主要特点:前级泵配备抽速高达15 m3/h 旋片泵,对氦气抽速可达 2.5l/s,氦质谱检漏仪 ASM 340 对氦气的蕞小检测漏率:

真空模式:5 · 10-13 Pa m3/s

吸的模式:5 · 10-10 Pa m3/s

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氦质谱检漏仪的应用拓展三

(1)电子行业

微波发射管、电子管、晶体管、集成电路、密封继电器、各类传感器、心脏起博器。

(2)真空行业,仪器、仪表行业

管道、接头、阀门、波纹管、各种真空泵、各类排气机组、电镜、质谱仪、电子束离子速暴光机、激光轴分离器、高能加1速器、加1速器、辐照加1速器、镀膜机、薄膜真空计。

(3)核工业

铀分离装置、存储装置、核发电装置。

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