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涡轮分子泵的优势是启动快，具有抵抗各种射线的照射的能力，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，所以能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵在现今***用于高能加su器、可控热核反应装置、重粒子加su器以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。

分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。这种泵具体可分为：　（1)牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。　（2)涡轮分子泵靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。　（3)复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。

有防护网保护，为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内？

　　原因：防护网，前级管道

　　解决方法：优化系统设计

真空度很好的情况下，分子泵油为何会返到前级管道？

　　原因：油池或密封不良

　　解决方法：检查油池

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涡轮增压分子泵

涡轮增压分子泵是一种排气管式泵，在固定不动的叶子中间有很多高速运转的叶子，汽体分子结构被叶子碰撞得到机械能，奔向排气管一侧。

涡轮分子泵内有多个两色主动轮叶和定轮叶，每一个轮叶上面有很多按一定视角斜置的叶片，shimadzu分子泵的用途，具体的涡轮分子泵全是由多级别叶列串连构成，即按压片、定片、动片等先后更替排序，动叶片旋转时又类似电扇叶片的功效，能将汽体从一侧抽中另一侧。因为静环在静环座中长时间处于静止状态，使聚合物和杂质沉积为一体，起到了较好的密封作用。提升 分子泵的转速比，有益于提升 分子泵的抽速。

旋片真空泵主要由泵体（静子）和转子组成。在转子槽中装有两块以上的旋片，有些泵旋片间还装有弹簧。转子偏心地装在泵腔内，其外缘与泵腔顶部表面的间隙为2～3微米。转子旋转时，在离心力等作用下，旋片沿槽作往复滑动并与泵腔内壁始终保持接触，将泵腔分成两个或几个可变容积的工作室。转子顺时针方向旋转时，与吸气口相通的吸气腔容积由零逐渐增大，腔内气体压力降低，被抽气体便从吸气口源源不断地吸入。

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当M2（方框2）或M7的真空度始终没有到位时，请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作；

打开分子泵之前，必须先打开冷却水阀。分子泵的叶轮停止后，必须关闭冷却水阀；

.每次停机后，必须清洗每个分子泵的入口，以保持其清洁，以避免不必要的损坏；

当出现警告信息“EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机***进行检查。在再次打开分子泵之前，请确保水路畅通。当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。shimadzu真空泵设备保养

旋片式真空泵特征：

1、体积小、重量轻、噪音低。

2、设有气镇阀，可抽除少量水蒸气。

3、极限真空度高。

4、内置强制油泵，润滑充分，。

5、设有自动防返油止回阀，双重保险装置，启动方便 。

6、保持进气压强为≤1.33*1000Pa时，仍可连续运转。shimadzu真空泵设备保养

7、不漏油，不配油，不污染工作环境

降低水环真空泵发热现象大家需要从以下几个方面进行处理：

1、抽气处加装降温设备，建议使用零下10度的冷水降温。

2、设备的前级泵工作液降温要有降温措施，水温低于20度。

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