氦质谱检漏仪

氦罩法

这种方法使用一个检漏罩（塑料薄膜等）把被检容器包起来，先排除罩内空气，然后充入氦气或氦气的混合气体，检漏仪与被检容器内部连接，当检漏仪有漏率显示时，说明有泄漏。这个漏率称为总漏率。总漏率为各个分漏率之和；总漏率不超标准值，则各个分漏率也不超标准值；总漏率超过标准值，则检查各个点的分漏率是否超过标准值。然后再对超过标准值的漏孔进行修补，直至达到合格标准为止。

大型压力容器在检漏时，经常使用辅助真空系统（辅助真空系统----有真空机械泵+增压泵，真空管道，三通，真空计，真空阀门，放气阀门等组成）来进行预抽真空，真空度达到一定值时，关闭辅助真空系统，或使用真空切换阀，再开启检漏仪来进行检漏。

氦质谱检漏仪光无源器件检漏

光无源器件是不含光能源的光能器件的总称。光无源器件在光路中都要消耗能量，插入损耗是其主要性能指标。光无源器件有光纤连接器、光开关、光衰减器、光纤耦合器、波分复用器、光调制器、光滤波器、光隔离器、光环行器等。它们在光路中分别实现连接、能量衰减、反向隔离、分路或合路、信号调制、滤波等功能。本文主要介绍氦质谱检漏仪在无源器件中的检漏应用。

光无源器件是不含光能源的光功能器件的总称。光无源器件在光路中都要消耗能量，插入损耗是其主要性能指标。光无源器件有光纤连接器、光开关、光衰减器、光纤耦合器、波分复用器、光调制器、光滤波器、光隔离器、光环行器等。它们在光路中分别实现连接、能量衰减、反向隔离、分路或合路、信号调制、滤波等功能。本文主要介绍氦质谱检漏仪在无源器件中的检漏应用。

无源器件检漏原因：光无源器件是光纤通信设备的重要组成部分，也是其它光纤应用领域不可缺少的元器件。具有高回波损耗、低插入损耗、高可靠性等特点。光无源器件对密封性的要求极高，如果存在泄漏会影响其使用性能和精度，光通信行业的漏率标准是小于 5×10-8  mbar.l/s，因此需要进行泄漏检测。氦质谱检漏法利用氦气作为示踪气体可准确定位，定量漏点，替代传统泡沫检漏和压差检漏，目前已广泛应用于光无源器件的检漏。

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氦质谱检漏仪主要部件---真空泵的概述与分类

真空泵(vacuum pump)

利用机械、物理、化学、物理化学等方法对容器进行抽气，以获得和维持真空的装置。真空泵和其他设备(如真空容器、真空阀、真空测量仪表、连接管路等)组成真空系统，广泛应用于电子、冶金、化工、食品、机械、、航天等部门。

按其工作原理，基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型。

气体输送泵包括：1、液环真空泵(水环真空泵)2、往复式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑阀式真空泵6、余摆线真空泵7、干式真空泵8、罗茨真空泵9、分子真空泵10、牵引分子泵11、复合式真空泵12、水喷射真空泵13、气体喷射泵14、蒸汽喷射泵15、扩散泵等

气体捕集泵包括：吸附泵和低温泵等。

目前工业中应用较多的是水环式真空泵和旋片式真空泵等。

W型往复式真空泵( Model W Piston Vacuum Pump )是获得粗真空的主要真空设备之一。广泛应用于化工，食品，建材等部门，真空氦质谱检漏仪多少钱，特别是在真空结晶，干燥，过滤，蒸发等工艺过程中更为适宜。

2X型旋片式真空泵( Model 2X Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )

用来抽除密闭容器的气体的基本设备之一。它可以单独使用，也可作为增压泵、扩散泵、分子泵的前级泵使用。该型泵广泛应用于冶金、机械、电子、化工、石油、等行业的真空冶炼、真空镀膜、真空热处理，真空干燥等工艺过程中。

2XZ型旋片式真空泵( Model2XZ Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )

具有结构紧凑，体积小，国产氦质谱检漏仪多少钱，重量轻，氦质谱检漏仪多少钱，噪音低，振动小等优点。所以，它适用于作扩散泵的前级泵，而且更适用于精密仪器配套和实验室使用。例如：质谱仪器，冰箱流水线，真空冷冻干燥机等。

XD型旋片式真空泵( Model XD Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )

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