等离子抛光的三个主要优点是成本更低，该过程更环保，并且具有该技术独有的表面下损伤去除效果。等离子抛光晶圆与CMP晶圆比较而言，一直到二极管和MOSFET器件生成，完整的晶圆电气性能和良率结果已经与CMP相当（图1）。
等离子抛光剂不使用消耗性有毒浆料，因此避免了相关的处置问题和高用水量，肇庆等离子抛光加工，消除这些工艺要求可以将运营成本降低多达85%。此外，该步骤上游的材料要求不需要改变，之后的工艺也看不到等离子抛光晶圆和CMP晶圆之间的差异。
等离子抛光加工
那就是说用光等离子和等离子的区别，等离子抛光加工厂，就光等离子更安全？
光等离子一点，因为它不会产生氮氧化物。另外光本身它又本身又能够起到杀菌这些作用，它也是一种能，一是光能，一是靠电能，光能好控制。我选用不同的波长，我就知道它的能极就确定了。但电场的话还有个问题，安全性他没有光好，因为电的话是靠高压放电。但是在一些的气体当中，它容易引起，是不安全。像要处理油烟，油烟净化，油烟本身是可燃气体。当你用那个用电的话，不锈钢等离子抛光加工，就相当于一个煤气灶里的打火器就容易引爆。
另外一个的话，电在这个潮湿的空气情况下，它可能会引起打火，就是短路放电和击穿。说这些东西它对湿度要求非常严格了，是这样。所以一般电等离子像油烟净化，现在消防上一般都似乎都在禁止使用这些东西，因为引起火灾的概率很高。
电解质-等离子抛光过程
将被抛光的金属挂件放在挂具上作为阳极沉入低浓度的中性盐配置的抛光液中，抛光液及抛光槽与阴极相连。
在工件进入抛光液的过和中，抛光液电解产生的气体和工件与抛光液接触的瞬时知路所蒸发的水蒸气会形成一个包围工件的气层，将工件与抛光液完全隔开。由于微观凸起的位置形成放电通道，将这些位置的材料支除，从而实现对工件的抛光。
等离子抛光设备主要用于抛光几何形状复杂的不锈钢制品表面。其机理是在液体施加的电极周围形成相对稳定的等离子体场，通过等离子体场中的离子与游离的中性原子之间的交换实现物体的表面分辨。由于物体的表面形貌，突出部分具有较高的血浆浓度，不锈钢等离子抛光加工厂，使其快速剥离，直至达到相对平坦的状态。因为等离子场包围了物体的整个表面，所以物体的所有部分都可以被相应地抛光。
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