等离子抛光的三个主要优点是成本更低，该过程更环保，并且具有该技术独有的表面下损伤去除效果。等离子抛光晶圆与CMP晶圆比较而言，一直到二极管和MOSFET器件生成，完整的晶圆电气性能和良率结果已经与CMP相当（图1）。
等离子抛光剂不使用消耗性有毒浆料，因此避免了相关的处置问题和高用水量，消除这些工艺要求可以将运营成本降低多达85%。此外，该步骤上游的材料要求不需要改变，之后的工艺也看不到等离子抛光晶圆和CMP晶圆之间的差异。
等离子抛光
不锈钢等离子抛光工艺
等离子抛光的原理:
透过高电压令工件表层与特殊药剂产生稳定的等离子膜，膜内强烈等离子体化学反应与电化学反应使被处理表面产生阳极反应，同时又使阳极氧化层受到化学侵蚀，在氧化速度与侵蚀速度相等时出现整平及抛光效果，使工件增强光泽度及提高反射率。化学反应快及无孔不入，适合复杂形状的工件!
不锈钢件等离子抛光加工
1.加工区:不锈钢件的加工区域应相对固定。不锈钢件加工区的平台应采取隔离措施，如铺上橡胶垫等。不锈钢件加工区的定置管理、文明生产应加强，以避免对不锈钢件的损伤与污染。
2.下料:不锈钢件的下料采用剪切或等离子切割、锯切等。
a.剪切:剪切时，应与送进支架隔离，落料斗也应铺以橡胶垫，避免划伤。
b.等离子切割:等离子切割后，割渣应清理干净。批量切割时，对于已完成的零件应及时清理出现场，等离子不锈钢抛光，以避免割渣对工件的玷污。
c.锯切下料:锯切下料时，夹紧应加以胶皮保护，锯切后应清理工件上的油污、残渣等。机械加工:不锈钢件在车、铣等机械加工时也应注意防护，作业完成应清理干净工件表面的油污、铁屑等杂物。
等离子抛光
金属电化学加工技术，在设计的工装夹具系统中，工件和电极分别与电源的正负极相接，云浮等离子抛光，在电场、流场和工作液的作用下，不锈钢等离子抛光加工，两级之间产生电荷交换，实现工件特定部位的'离子去除'，达到去毛刺，倒圆、抛光或成型等工艺要求。 对于手工难以处理、可达性差的复杂内腔部位，不锈钢等离子抛光加工厂，尤其是交叉孔相贯线的毛刺，利用电化学去毛刺有着明显的优势。电化学去毛刺对加工棱边可取得较高的边缘均一性和良好的表面质量，具有去除毛刺效果好、安全，环保等优点，去毛刺效果好，一般情况和传统工艺相比，效率可提高10-20倍以上。
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