涡旋真空泵的应用领域

涡旋泵已被广泛应用于半导体行业：薄膜制造设备、半导体器件封装设备。科学仪器行业：同步辐射光束线机、电子显微镜、极光试验设备、分析测试仪器。机械设备行业：材料制备设备、真空检测、材料提纯设备、超高真空排气设备。医院设备行业：透析机、生物制备与药品制备。包装行业：食品、药品、生物制品包装设备等领域。涡旋泵作为分子泵和小型低温泵的前级泵是获得无油真空系统很好的配置。

涡旋真空泵的结构特点

涡旋真空泵主要由5 个部件组成：

（1）动静涡旋盘副与基座；一个或几个渐开线螺旋形成的一个涡旋型盘状结构体。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘相互交错， 两者之间保证180°相位差组成的一对涡旋盘副机构。

（2）曲轴：保证动涡旋盘绕静涡旋盘转动的偏心机构。

（3）密封件：保证动、静盘的端面齿顶密封等的密封装置。

（4） 防自转机构：保证动、静盘180°相位差的机构。

（5）电机：输出约1500r/min的动力机构。

它的主要运动件只有一个动涡旋盘，因而动力传递简单，相同尺寸下运动半径小、零部件少、结构简单紧凑、整机尺寸小，动、静涡旋盘之间、动盘与泵腔之间间隙小，泵内运动件与泵腔无摩擦，涡旋真空泵，所以几乎无磨损，运行平稳，消耗功率小，涡旋真空泵价格，气体流动损失小，工作可靠性高、寿命长，易于维修，维修费用低。采用空气冷却，无需水冷。

旋涡真空泵优势

旋涡真空泵是一种构造简易的高扬程泵。与规格、转速比同样的离心水泵对比，其扬程要高3~9倍。与同样扬程的容量式泵对比，涡旋真空泵哪家好，其规格要小，构造也简易的多。旋涡泵体型小，重量较轻的特性在船只设备中具备巨大的优势。

2、绝大多数旋涡泵具备自吸式工作能力，涡旋真空泵多少钱，或依靠简易的设备来完成自吸式。

3、旋涡泵具备险峻的扬程特点曲线图。其扬程的转变对总流量的危害较离心水泵为小，因而，系统对的工作压力起伏不比较敏感。

4、许多旋涡泵能完成汽液混输，这针对运输带有汽体的易充分发挥的液体和气化工作压力很高的高溫液体具备关键的实际意义。

5、旋涡泵构造简易，锻造和生产加工都非常容易完成，一些旋涡泵零件可应用非金属材质压模。

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