SU8模具加工平台旨在为SU8模具加工提供一个gao效、全mian的解决方案，该平台集成了桌面光刻机、匀胶机和热板等he心设备。桌面光刻机，体积小巧，采用LED光源，曝光分辨率可达2um，曝光均匀性大于90%，可实现微纳结构的精细制备；匀胶机，桌面光刻机公司，转速稳定性为±0.5%，转速达10000转，可确保光刻胶均匀涂敷，提高一致性；热板，温度稳定性±1%，可为SU8模具提供充分的烘烤，从而提升SU8模具结构的耐久性和机械性能。相比传统加工平台，设备体积庞大，环境要求严苛，SU8模具加工平台适应性强，光刻机占地面积小，普通实验室也可轻松部署。SU8模具加工平台，有利于客户快速实现芯片制备，桌面光刻机设计，为微流控技术的推广和应用提供便捷途径。

注射泵是一种基于步进电机作为驱动源，用于控制jing确液体流量和流速的装置。它通常由步进电机、泵头和控制器组成。步进电机提供了jing确的转速和位置控制，泵头用于推动液体流入管路，控制器则控制电机旋转的角度和速度。

注射泵具有以下特点：

1.高精度控制：步进电机可以非常精que地控制旋转角度和速度，从而实现高精度的流量和流速控制。

2.可编程控制：控制器可以通过编程方式设置电机旋转的脉冲数和频率，从而实现不同的流量和流速控制模式。

3.安quan可靠：步进电机驱动的注射泵通常具有多种安全保护措施，如过载保护、限位保护等，确保设备的安quan可靠运行。

4.易于操作：步进电机驱动的注射泵通常具有友好的用户界面和操作系统，操作简单、方便。

5.应用范围广：步进电机驱动的注射泵适用于各种需要精que流量和流速控制的实验、生产和检测场合，如微流控技术、生物技术、化学实验等。

需要注意的是，步进电机驱动的注射泵相比于传统注射泵，价格较高，但是在需要高精度流量控制的应用场合中，其精度和可编程性优势显著，得到了广泛的应用和认可。

前烘

1）将涂布好SU8光刻胶的硅片放置在热板上，进行预热烘烤，去除光刻胶中的挥发性有ji溶剂，时间和温度根据光刻胶厚度进行调整。（举例说明：目标胶厚度50um ，设置温度65℃，烘烤15min，然后温度95度，烘烤15分钟）

曝光

1）将预热后的硅片放置在桌面光刻机托盘上。

2）使用相应的掩模（掩膜）放置在硅片上进行曝光，曝光时间和强度根据SU-8光刻胶的类型和厚度进行调整。（举例说明：目标胶厚度50um，设置曝光能量25mw/cm2，时间12s）

后烘

将曝光后的硅片放置在热板上，青海桌面光刻机，进行后曝光烘烤，以确保光刻胶的交联反应完成。（举例说明：目标胶厚度50um，设置温度65℃，烘烤7min，然后温度95℃，烘烤3min）

六、显影

将硅片放入显影剂中，使未曝光部分的光刻胶溶解，形成模具的图案。（显影时间根据光刻胶厚度和显影剂浓度进行调整，此处显影时间20min）

清洗

将显影后的硅片用异bing醇溶剂进行清洗，去除多余的光刻胶。

检查

使用显微镜检查制备的SU-8模具，测试观察制备的微结构尺寸，确认图案的清晰度和质量。

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