曾有研究报道指出，利用吸收净化法处理含氟气体时，在经过几级的吸收后，氟的吸收率会介于97%-98%之间。很容易溶于水，从而形成，又能和许多碱性物质发生反应，从而形成氟化盐。也很容易溶于水，从而形成和硅胶。  所以，采用水或碱液吸收的方法，会很轻易的脱除废气中的和。采用碱液吸收含氟废气中的HF和SiF，经常会用氨水、石灰乳和纯碱、溶液作为吸收剂，废气设备售后，且脱效果较好，同时还能把含氟废气中的有害物质转化为有用物质，吸收液还能进行再生的循环利用。


有机废气是大气的主要污染物之一，对人体有害，会引起疲乏无力、头晕、恶心呕吐、心慌气喘等症状。治理有机废气可采用无污染工艺，少用有毒原料，控制有毒废气排放量，使之在环保要求的排放限值内。有机废气治理的方法主要有两类：一是回收法，二是消除法。回收法主要有活性炭吸附、变压吸附、吸收法、冷凝法及膜分离技术。处理方法的选择取决于废气的理化性质、浓度、排放量以及原料或副产品的经济价值等。  消除法有直接燃烧、热氧化、催化燃烧、生物氧化、等离子体、光催化氧化及其集成技术。消除法主要是通过化学或生化反应将有机气相污染物转变成为二氧化碳和水等无的小分子无机物。

工业生产过程中会产生大量对大气环境有危害的有机气体。当前，中国的大气环境已受到严重污染，北方许多地区出现了严重雾霾天气。在这种情况下，必须加大VOC有机废气处理技术的研发力度，通过提高废气处理技术来降低其对大气环境的危害。

挥发性的有机化合物，简称为VOC(VolatileOrganic Compounds))，在工业生产中，通常作为溶剂来使用，使用之后便散发到大气中。现阶段，其应用比较广泛的领域包括石油化工、印刷、人造革及电子元器件、烤漆和等。

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