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加氢除氧、除氢法

此法分三级，一级加氢除氧，二级除氢，三级除水，获得下列组成的高纯氮：N2≥99.999%，O2≤5×10-6，H2≤5×10-6，H2O≤10.7×10-6。

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迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，周口高纯氮气哪家纯度高，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器。不要直接接触泄漏物。尽可能切断泄漏源。

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在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气，化学气相淀积时的载气，液体扩散源的携带气，好品质的高纯氮气哪家纯度高，在高温扩散炉中用作器件的保护气。

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