种多通道高精密LCR测试系统  本发明涉及LCR测试技术领域，公开了一种多通道高精密LCR测试系统，包括与待测产品连接的若干结构相同的的扫描卡、以及与扫描卡相对设置的测量卡，LCR测试仪厂家，若干所述扫描卡和测量卡通过背部连接板连接，所述扫描卡用于实现通道切换，所述测量卡用于实现LCR测试，所述背部连接板用于实现信号的转接，所述背部连接板连接有主控板，所述主控板用于实现对测量卡以及扫描卡的信号控制。




提高精度的方法是:1，Hp，Lp，Hc，Lc尽量接近DUT;2，衡水LCR测试仪，减小测试电流Ix的回路面积&磁通量(关键是分析Ix，要配合使用Guard与Cable小化回路面积);3，使用Gurard与Cable构建地平面中断信号线间的电场连接，虽然会增加信号线的对地电容(对地电容不影响测试结果)，但是会减少信号线的互容。Guard与Cable的对地寄生阻抗(Zhg，Zlg)不影响测试结果，电桥平衡时Zlg的两端电压是0，LCR测试仪厂商，流向Rr的电流不会被Zlg分流，Zhg的分流作用不影响Hp的电压测量。




搭配Probe card测试适用领域：8寸/6寸Wafer、IC测试之产品电动型chuck尺寸1200mm，平坦度土1u（不锈钢或镀金）X，Y电动移动行程300mm x 300mmchuck粗调升降9mm，微调升降16mm，微调精度土1u可搭配MITUTOYO晶像显微镜或者AEC实体显微镜针座摆放个数8～12颗显微镜X-Y-Z移动范围2“x2”x2“材质：花岗岩台面+不锈钢可搭配Probe card测试




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