贴合式兆声清洗头概述

槽式兆声清洗的优点在于其兆声换能器面积较大，可以大面积辐射兆声声场，从而更的进行清洗。但缺点是兆声声场在水槽中分布不均匀，半导体晶圆清洗公司，距离换能器越远声强越弱，同时声能传递效率较低。喷淋式兆声清洗的优点在于可直接将兆声能量聚焦在清洗物表面，从而可通过运动清洗物和喷头实现清洗物表面均匀的声场分布，且声能传递效率较高。但喷淋式需要较大的清洗液流量，对清洗液浪费较大，并且喷淋式兆声换能器面积较小，从而声能辐射面积较小，清洗速度较慢。

贴合式兆声清洗是一种吸取了槽式和喷淋式两种兆声清洗的优点并摒弃了二者缺点的更优化的兆声清洗技术。它可以以相对大的面积直接将兆声声能均匀的传递到晶圆表面，具有非常高的传递效率和声场均匀性，同时非常节省清洗液。

兆声波清洗机产品特点

兆声波清洗不仅保存了超声波清洗的优点，而且克服了它的不足。在清洗时，由换能器发出波长为1μm频率为0.8兆赫的高能声波。溶液分子在这种声波的推动下作加速运动，瞬时速度可达到30cm/s。因此，形成不了超声波清洗那样的气泡，而只能以高速的流体波连续冲击晶片表面，使硅片表面附着的污染物的细小微粒被强制除去并进入到清洗液中。兆声波清洗抛光片可去掉晶片表面上小于0.2μm的粒子，起到超声波起不到的作用。这种方法能同时起到机械擦片和化学清洗两种方法的作用。兆声波清洗方法已成为抛光片清洗的一种有效方法。

1、遵守铸造设备通用操作规程。2、工作前还必须遵守：a、检查管路系统有无漏气漏水的情况，半导体晶圆清洗多少钱，如有这种情况，半导体晶圆清洗价格，应通知维修人员修理。b、检查清洗液是否足够，如果不够，及时增加清洗液。c、先点动试车，然后空运转2-3分钟，检查传动系统（电动机、联轴节、减速器）和运输带的运动是否平稳，确认一切正常后，方可进行生产。d、开启浮油排除装置（不带浮油排除装置除外）开始浮油排除，因此时水泵尚开启，水面平静，排油，待浮油基本排除后停止除油，排油污多克利用午休时间进行。

喷淋式兆声喷头

单点喷淋式兆声清洗，无二次污染问题超高频超声波，频率可达3MHz清洗精度高，可去除0.2微米的污渍颗粒超低的声空化效应，海南半导体晶圆清洗，不损伤器件表面无金属材质接触液体，无导电物质脱落风险腐性，可耐各种酸碱溶液及。

喷淋式兆声喷头是将兆声换能器嵌入到喷嘴中，以喷嘴的形式对被清洗物如晶圆等进行清洗。它的优势在于可点对点的直接对被清洗物表面进行处理，可让声能焦点直接处于被清洗物表面，然后再通过运动来实现整个二维平面的清洗。这种方式相比于槽式兆声清洗，其兆声转换效率更高，并且避免了槽式兆声清洗中声场强度随水槽液体深度变化而变化的问题，使被清洗物如晶圆表面获得的声能更均匀。另外，由于是喷嘴喷淋的方式，也不会发生像槽式清洗中水槽中的残留的脏污对被清洗物造成二次污染的问题。

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