氦质谱试漏仪工作原理

氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作探索气体制成的气密性检测仪器．其灯丝发射出来的电子在电离室内来回的振荡，与电离室内气体和经被检件漏孔进入电离室的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，轨道半径

R ——离于偏转轨道半径（cm） B ——磁场强度（T）

M/z ——离子的质（量）／（电）荷比（正整数）

U ——离子加速电压（V）

由上式可知，当 R、B 为定值时，汽车空调测漏设备，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。

氦质谱检漏仪的检漏方式有那些

氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，汽车空调测漏设备，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。

逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比（气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比）即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。

氦质谱检漏仪逆扩散原理

逆扩散方式检漏允许被检件内压强较高，氦质谱检漏仪可达1000Pa（一般常规检漏仪为0.05Pa以下），适合检大型容器或有大漏的器件，汽车空调测漏设备，也适合吸检漏。逆扩散方式还具有质谱管不易受污染，灯丝寿命长等优点。

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氦质谱检漏仪

今天和大家分享的是氦质谱检漏仪的相关知识，希望对您有所帮助！

氦质谱检漏方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用，这种方法的优点是:检漏灵敏度高，可以检漏到10-11Pam3/s 数量级，仪器响应快，氦分子在仪器高真空的环境中扩散的速度很高;所以氦质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用，例如，在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、火箭、飞机等这些都要用到真空检漏技术。在一般工业领域里原子能、发电厂、配电站、合成氨的氮肥生产厂、汽车制造业、造船工业、制冷工业、冶金工业、输气管道、气罐、油罐、锅炉快餐食品包装等都离不开检漏问题，同样在导1弹武1器装备中也离不开检漏，导1弹弹体、燃料储备罐、燃料运输管道、、特殊部件的密封性都要用到氦质谱检漏，测漏设备，本文主要真对氦质谱检漏原理及方法进行综述。

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