可用于具有可动部装置的低固有振动频率被动除振单元
根据明立精机长年的技术和经验，DPS-1000J防水秤，开发了与被认为难以兼顾的低固有振动数且舞台等可动部也对应的被动除振单元。为要求高精度、高吞吐量的制造装置提供高的除振装置
虽然是等级无源除振装置水平的除振性能，但也可以用于有可动部的装置的低固有振动频率无源除振单元
明立精机被动除振装置阵容中也是等级的除振性能，防水秤PF10-15N，同时也可以对应舞台等可动部。为要求高精度、高吞吐量的制造装置提供高的除振装置。
台式主动减振系统ME-0806D明立精机防水秤
台式主动减振系统
根据在长期的历史和交付实绩中培育了的除振技术被开发了的ME40系列更新为ME系列。紧凑的身体集中6自由度主动除振机构，提供用以前的被动式不能实现的振动环境。近年来，特别是在进步惊人的纳米技术领域，是限度地发挥高精度、高分辨率的精密机器性能的合作伙伴。
概要?特点
6自由度主动控制
经常监视搭载盘及设置面的振动，通过内置的致动器施加反相位的力来控制振动。用3维（6自由度）控制。
自动活动调整和自动校平
主动控制中不可缺少的增益调整由明立精机的控制系统自动优化。
轻量装载物也能对应
通过重新审视装置构造，小型SPM等轻量的搭载物也可以使用。
仅电源工作
使用所需的实用程序电源。不需要压缩机等空气源。不选择安装场所、使用环境。
应用程序
扫描探针显微镜（SPM）、聚焦激光显微镜、干涉仪系统、三维形状测量机、激光位移仪系统、其他精密测量及精密加工机。
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Digituff海洋DOC-1000特征:可在船上使用的数字秤；电池可充电无线设计；一次充电可运行约35小时。称重能力是30公斤。
PF10特征:背光显示(字符高度30mm)。通过检查器功能，可以检查称重值的超出或不足。无线设计(使用6节AA电池可使用180小时)。提供交流适配器。用于交易和证明。
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