当具有高能量的入射（一次）X射线与原子发生碰撞时，会打破（待测样品的）原子结构的稳定性。处于低能量电子壳层（如：K层）的电子更容易被激发而从原子中逐放出来，电子的逐放会导致该电子壳层出现相应的电子空位，这时处于高能量电子壳层的电子（如：L层）会跃迁到该低能量电子壳层来补充相应的电子空位。由于不用电子壳层之间存在着能量差距，这些能量上的差以二次X射线的形式释放出来.




主要使用X射线束激发荧光辐射，次是在1928年由尔和施雷伯提出的。到了现在，该方法作为非破坏性分析技术，并作为过程控制的工具，广泛应用于采掘和加工工业。原则上，轻的元素，可分析出铍（z=4），但由于仪器的局限性和轻元素的低X射线产量，往往难以量化，所以针对能量分散式的X射线荧光光谱仪，可以分析从轻元素的钠（z=11）到铀，而波长分散式则为从轻元素的硼到铀。

便携式XRF荧光光谱仪Compass200用于化妆品重金属元素分析

化妆品中重金属的快速筛查

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安全检查点。

重金属，如铅 (Pb)、 (As)和 (Hg) 已用于女性历的化妆品。 目标是经常提供苍白的肤色，一个使女性显得更加脆弱或娇嫩，

并表明较高的社会经济地位。现在知道化妆品中的重金属事实上是相当危险的。 ，法规对其内容级别进行了规定化妆品和营养品。

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