质量流量控制器的工作压差范围是个什么概念?
质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门,流体数字控制模块公司, 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程, 在工作的过程当中, 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降, 即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa, 若压差低于值(0.1 MPa), 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用MFC时, 无论用户工作的反应室是真空还是高压, 应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内,流体数字控制模块, 并且要求气压要相对稳定。
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流体系统
流体系统是与具体实际管网模型相对应的流动元件集合,各个流动元件都有实际的物理模型与之相对应。流体介质是流体系统中的流动物质,流体介质的状态和属性直接影响流体系统对流体介质的输运能力、热传导能力及其流体的作功能力。流体系统是由各种流动元件相互连接而成,流动元件包括流体存储元件、流体单向输运元件、流体多向输运元件。流体单向输运元件只有一个进口和一个出口,如各种管道、流体增压泵、气体压缩机等。流体多向输运元件主要用于分流和汇流,如三通接头、四通接头以及引射泵等。流体存储元件一般有流体体积或质量, 有一个或多个单向输运元件与之相连,其流量既可能流进,流体数字控制模块多少钱,也可能流出。
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流量控制单元(FSCU)
FSCU(Flow System Control Unit)是北京晓韬科技有限公司技术团队针对各大高校、科研院所的不同研究方向,为其量身打造的气体、液体流量控制系统单元,目前大量应用于材料、催化、环境、化学、物理等相关领域。
FSCU可通过触摸屏、PLC、PC软件等上位机系统控制国内外主流流量控制器(如北京七星华创、Horiba、MKS、Brooks、Bronkhorst、Alicat等品牌)及电磁截止阀开关,可以读取气路中压力信号或温度信号并进行转换,从而实现气路中常用元件的程序控制,实现温压修正、MFC故障诊断、气路截止等一系列联动功能。
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