氦质谱检漏仪是用示踪气体氦气的专门用于检漏的仪器，它性能稳定，灵敏度高，是真空检漏技术中较成熟的设备，使用比较普遍的检漏仪。为工厂作业人员的安全以及环境保护，氦质谱检漏仪成为化工管道检漏的的选择。氦质谱检漏设备因氦比空气轻，因此要注意检漏的顺序，检查顺序应依照由下而上， 由近而远的顺序进行。对检漏方法的要求：稳定性好，即可以在足够长时间内灵敏度；所用“示踪气体”在空气中含量低，无毒，不腐蚀零件；

油箱试验件的细漏漏点采用正压法检测。试验时，向油箱 试验件内部充入氦气和压缩空气的混合气体，使油箱内部压力大于外界大气压，如果有漏点存在，氦气就通过漏点泄漏出来，用吸进行探测，就能确定是否存在泄漏。检测过程要保证在吸上加罩盒。一是为了防止环境中氦浓度过高，影响检测;二是为了防止一大片的漏点同时泄漏，不能检测到漏点的确切位置及单个漏点的漏率。检测时，吸要沿着漏点缓慢移动，以便能够检测出漏源的准确反应值。

仪器工作在稳定的状态，电力行业检漏解决方案，在仪器的检漏口喷一定量的氦气， 分别采取持续抽、空气清氦、氮气清氦的清氦方式，仪器再按开始键，记录清氦所需时间。而通过实验表明，利用氮气来清氦的效率是高的。鉴于仪器在检漏的过程中氮气清氦的性，对仪器的系统进行改进。增加清氦电磁阀。在氦质谱检漏仪中增加氮气清洗设置，有效的避免了在检漏过程中，氦气残留对仪器检测灵敏度的影响，另外仪器控制中还可以增加大漏保护设置，即仪器在检测到大漏时，仪器自动停止，防止大量氦气再进入仪器中。再者将前级泵换成干泵也是不错的选择，利于对仪器的清氦，保证仪器检测的高灵敏度。

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