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这对器件几乎没有任何影响,因此可以用纯金、纯银作为溶剂,二手1260液相设备价格,分别在400℃ ,845℃左右进行低温外延生长.不过太高的溶解度会引起淀积速率不易控制和熔体内自发成核等问题 [1]  .硅LPE系统:LPE技术发展到现在,二手1260液相设备,其广泛采用的系统是改进的浸渍系统和滑动舟系统,近期报道一种新颖的旋转坩埚系统(离心系统)也值得注意 [1]  .苏州科鲁斯特测控科技有限公司苏州科鲁斯特测控科技有限公司




低温硅液相外延:低温外延是硅器件制造的总体趋势.在硅LPE中,由于新的溶剂(主要是Ag,Au及其合金)不断发现,大大降低了硅LPE的温度.金对硅的溶解度就是在400℃也能达到15at.%以上,Ag在845℃也有11at.%的Si含量.又因金在硅中的固溶度在800℃才达到影响光生载流子寿命的阈值,二手1260液相设备厂商,而当生长温度低于500℃时,Au在硅中的固溶度不到1012cm-3。




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